簡易流量控制安裝
在*的質量流量測量基礎上,Compod™搭配了Sierra的Smart-Trak® 2質量流量計或流量控制器使得設備網絡組態更加方便。通過開源RTU協議,Compod™也可以監控或診斷流量控制器的內部系統參數值。用戶在配備了Compod™后可以對Smart-Trak®質量流量計和控制器進行更復雜的控制,兩路數字輸出和一路模擬輸入可以對以下工藝參數進行配配置。
? Gas mixing and blending
? Batch control
? Sensor driven leak testing
? Process monitoring
? Physical Vapor Deposition (Sputtering)
? 壓力監控及控制
? 氣體比率控制
? 內部閥門性能監測
? 多報警信號設置
? 客戶自定義流量啟動停止配置
? 氣體累計及可調脈沖輸出設置
? 更多...