大口徑光學元件散射缺陷檢測儀(Model LSDI-2000-LA),適用于大口徑光學材料、半導體材料和金屬等材料拋光后的表面缺陷檢測和分析。本系統是一款非接觸式、全自動的檢測儀器,能夠高速檢測待測表面的劃痕、麻點、臟污等特性。

1. 高速度
2. 高靈敏度
3. 高重復性
4. 全自動操作
5. 可根據不同標準自動判別

大口徑光學元件散射缺陷檢測儀 | ||
型號 | LSDI-2000-LA | LSDI-3000-LA |
檢測方式 | 全自動 | 全自動 |
檢測靈敏度 | ≤ 500nm | 65 nm~90 nm |
樣品尺寸 | 米級 | φ 300 mm |
注:可以根據客戶需求提供同類特制儀器和相關測試的解決方案。