詳細信息
一、主要特性：
光束質量: M²<1.5
脈沖能量達200μJ
脈寬可小于10ps
峰值功率達20MW
重復頻率可達15MHz
平均功率達100W
波長1064、532、355、266nm
二、產品應用：
光伏產業，如:硅晶圓的劃片、打孔和切割；薄膜太陽能電池和晶硅太陽能電池導電層和絕緣層的燒蝕
印刷工業，如:印刷輪雕版
顯示領域，如:構造導電層，橫向連續硅結晶
電子行業，如:印刷電路板的鉆孔和切割
工具制造和機械工程，如:三維快速成型
三、參數規格：
波長[nm] | 1064 | 532 | 355 | 266 |
高光束質量 M2 | 1.1 | 1.1 | 1.5 | 2 |
平均功率[W] | 100 | 60 | 30 | 10 |
重復頻率[MHz] | 15 | 15 | 15 | 15 |
單脈沖能量[μJ] | 200 | 120 | 70 | 30 |
脈寬[ps] | 8 | 8 | 8 | 8 |
能量穩定性[%]rms | 1 | 2 | 3 | 4 |
定時穩定性[ns] | 60 | 60 | 60 | 60 |
偏振比 | >100:1 | >100:1 | >100:1 | >100:1 |
出口光斑直徑[mm] | 3 | 3 | 3 | 3 |
滿量程發散角[μrad] | 500 | 250 | 226 | 226 |
電源 | 90V-264V,50/60Hz 1KW | |||
水冷機 | 230,208,115,100V,50/60Hz 0.8KW | |||
工作溫度 | 15-30℃ | |||
激光頭 | 650mm*268mm*139mm 36kg | |||
電源及水冷機組 | 19"*10HU*650mm 62kg | |||
