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  • 4路質子混氣管式PECVD系統

4路質子混氣管式PECVD系統

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2022-04-05
  • 廠商性質生產廠家
  • 所在地區上海市
  • 實名認證已認證
  • 產品數量185
  • 人氣值1814
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上海繪吉電子科技有限公司主要代理歐、美、日及國內*科學儀器、工業質檢儀器及相關消耗品,專業涉及高校、新能源、鋼鐵行業、科研研究及輕工化工、在國內特別是華東地區具有廣泛的客戶基礎和良好的商業信譽。經過幾年的發展,繪吉公司已經在同行業中確立了多方面的好的地位,無論在公司規模、人員素質、經營品種、銷售能力和售后服務等各方面獲得了同行及用戶的廣泛認可。 上海繪吉電子科技有限公司從事分析類儀器(熒光光譜儀,質譜儀,粒度儀,真空系列等分析類設備),電池材料制備設備,實驗室儀器,理化分析類儀器,微生物儀器,生理儀器及實驗室耗材。。
上海繪吉電子科技有限公司從事分析類儀器(熒光光譜儀,質譜儀,粒度儀等分析類設備),德國普發真空設備,電池材料制備設備,實驗室儀器,理化分析類儀器,微生物儀器,生理儀器及實驗室耗材。
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4路質子混氣管式PECVD系統
4路質子混氣管式PECVD系統 產品詳情

型號:OTF-1200X-50-4CLV-PE品牌: 科晶


4路質子混氣管式PECVD系統 核心參數

  • 升溫速度(達到溫)
    10℃
  • 內部尺寸
    外徑: 50 ×內徑: 44 ×長: 1000 mm
  • 加熱方式
    電阻絲
  • 功率
    3KW
  • 控溫精度
    ±1℃
  • 溫度
    1200℃
  • 儀器種類
    管式爐


為了使化學反應能在較低的溫度下進行,利用了等離子體的活性來促進反應,因而這種CVD稱為等離子體增強化學氣相沉積法(PECVD), 內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命。


技術參數

實驗機理

  • 輝光放電等離子體中:電子密度高109-1012cm3

  • 電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100

產品特點

  • 雖環境溫度在100-300℃,但反應氣體在輝光放電等離子體中能受激分解,離解和離化,從而大大提高了反應物的活性。因此,這些具有反應活性的中性物質很容易被吸附到較次溫度的基本表面上,發生非平衡的化學反應沉積生成薄膜。

  • 科晶公司提供定制的薄膜材料的實驗室質量可靠、價格合理的緊湊型PECVD系統。

  • 下圖顯示的是PECVD法用500W交流等離子體與OTF1200X507通道精密質量流量計和高真空系統氣體組成

OTF-1200X開啟式管式爐,工作溫度高達1200℃      化學氣相沉積系統的組成圖

開啟式管式爐

  • 工作溫度:1200℃

  • 爐管尺寸:Φ50Φ60Φ80都可用

  • 溫度控制器:30段高精度數字可編程溫度控制器

  • 加熱區長度:440mm

  • 恒溫區長度:150mm

  • 功率:AC 220V 4KW

等離子射頻電源

  • 輸出功率:50-500W可調±1%

  • RF頻率: 13.56MHz,穩定性±0.005%

  • 噪聲:≤55DB

  • 冷卻:風冷

  • 輸入功率:1KW  AC 220V

真空泵和閥門

  • 采用KF25系列波紋管和精密針閥連接

  • 真空度可達10-3torr

  • 本公司進口的防腐型數字式真空顯示計,其測量范圍為3.8x10-5 1125Torr.不需因測量氣體種類不同而需要系數轉換。(點擊圖片查看詳細介紹)

質量流量計

  • 內部裝有高精度數字顯示質量流量計可準確的控制氣體流量

  • 氣體流量范圍為0-200 誤差為0.02%

  • 一個氣體混氣罐的底部安裝了液體釋放閥

  • 不銹鋼針閥安裝在左側可手動控制混合氣體輸入

  • 進氣口:采用國際標準雙卡套接頭

細節圖展示


外形尺寸

  • 爐體:550*380*520mm

  • 供氣及真空系統:600*600*597mm

  • 凈重:120KG

質保期

一年質保期相關耗材除外,如加熱元件,密封圈等易耗件

質量認證

  • CE認證

  • 所有電器元件(>24V)都通過UL?/?MET?/?CSA認證

  • 若客戶出認證費用,本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證

國家

名稱:可組合式等離子增強化學氣相沉積裝置

編號:ZL-2011-2-0355777.1

尊重創新、鄙視抄襲、侵權必究

使用注意事項:
  • 爐管內氣壓不可高于0.02MPa

  • 由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

  • 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態

  • 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

  • 石英管的長時間使用溫度<1100℃

  • 對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐管破裂,法蘭飛出等)



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