智能氣體動態混合裝置SSGM:是一臺智能化在線氣體濃度混合裝置,由流量控制系統、氣路控制系統和計算機控制系統組成。現有技術中,選用不同的質量流量控制器對氣體流量進行控制,通過控制不同通道的體積流量,達到對氣體標準物質的定量稀釋,從而實現將高濃度的氣體稀釋為不同低濃度氣體的目的。主要應用于計量檢測部門檢定氣體分析儀、校準各種儀器而配制氣體標準物質,同時可用于環境檢測、真空鍍膜、航空航天、光伏行業、精密半導、石油化工、煤礦等多行業配制氣體標準物質。
智能氣體動態混合裝置SSGM:氣體動態混合系統是一種用于將不同氣體混合物的濃度調節到目標濃度的動態氣體混合方法。該方法包括以下步驟:設備連接不同規格的氣體氣源,利用一質量流量控制設備來調節進氣氣體的流速作為氣體濃度調節的組合氣;利用二質量流量控制設備來控制平衡氣體的流速,再進行混合以便產生處于目標濃度的最終混合氣體。