概要
SEC-Z700系列和CRITERION D200系列即使在上流和下流壓力影響的情況下也可以提供穩定的流量控制。標準的氣路系統會有調壓閥，壓力傳感器和過濾器來避免壓力影響對流量控制的干擾。新型號的質量流量控制器，如SEC-Z700系列和CRITERION D200系列，可以不受上流和下流壓力的影響，提供高穩定性的流量控制。不僅可以提供流量輸出，還可以讀取溫度和壓力數據。可以通過模擬信號控制，也可以通過RS-485和DeviceNet的數字通信控制。這種型號適合用于高性能，緊湊型和減少管路重量的氣路系統。
特征
- 復合氣體/復合流量功能-氣體種類和全流量可以由客戶更改。
- 可變PID功能提供全流量范圍高速響應時間（在一秒以內）
- 緊湊型氣路-不需要調壓閥，壓力傳感器和過濾器
- 穩定氣體流量控制，不受上流和下流壓力的影響
- 集成進氣端壓力傳感器
- 自身多種顯示
- 精度保證1%設定流量
- 超潔凈設計：金屬密封圈，所有都是SUS-316L不銹鋼，并且經過表面拋光（標準）
- 緊湊型尺寸-50SLM以內采用一樣的尺寸
- 信號兼容-模擬/RS485數字模式，DeviceNet模式
- 網絡功能-通過數字信號控制
