HORIBA 提供多種質量流量控制產品,包括質量流量控制器和質量流量計。質量流量控制產品都具有高精度、快速響應的特點。氣流控制器的產品范圍包括兩類傳感器:壓差式傳感器和熱式傳感器,以及多種通信方式:模擬式、數字式、DeviceNet™、PROFIBUS® 和 EtherCAT®。選擇高精度壓電陶瓷閥或更傳統的電磁閥控制工藝氣體。
根據氣體或液體兼容性要求,可提供各種金屬密封件或 VitonTM 密封件。
提供調節比達 10:1 的各種設備。
如對靈活性有要求,可以選用多氣體(用戶可以設定氣體類型)和多量程(用戶可以設置流量范圍)設備。多氣體、多量程流量控制器還可減少庫存量。