等離子設備的選裝件和配件
我們的等離子設備具有以下選裝件/配件 - 其在大多數情況下可以加裝 - 可用：
2.45 GHz-發生器（微波）
功率達到 0 - 850 瓦特，發生器擁有一個 PC 接口。主要應用領域為活化、清洗、蝕刻、半導體（前端）、半導體（后端）、等離子體聚合。
13.56 MHz-發生器
為了符合 DIN EN 55011 標準，我們的 13.56 MHz 發生器經過石英穩定化處理。阻抗匹配是固定的，手動和自動均可。 主要應用領域為活化、清洗、蝕刻、半導體（前端）、半導體（后端）、等離子體聚合。
40 kHz-發生器
僅可進行自動阻抗匹配，其功率具有兩個版本。主要應用領域為活化、清洗、蝕刻、半導體（后端）、等離子體聚合。
2 路 2 通方向閥用于液體計量
閥門用于針對性計量單體。
活性炭過濾器
活性炭過濾器便于更換。
真空抽吸過濾器
防止真空泵被飛出的零部件損壞，其涂層防止受到污染。
自動門
一扇在工藝流程開始時會自動關閉的門。
條形碼讀取器
用于跟蹤批次。
加熱型腔室
該腔室可加熱至約 80 °C。溫度可以調節。其適用于限定的工藝條件和較高的蝕刻速率。
偏置電壓測量系統
偏置電壓測量系統是一種測量儀器，其適用于kHz 和 MHz 發生器。
鼓泡器瓶
鼓泡器瓶屬于聚合配件，并且被用于將液體單體連接至真空腔室。使用一種載運氣體進行工作，取代了簡單的單體瓶。用單體沖洗載運氣體，例如，氬氣。
蝶閥
為了對氣流進行控制，使用了一個蝶閥，其在真空泵的吸氣管道內部主要采用了真空技術。為此，需通過調節閥門來改變管道中的流動阻力，該閥門會或多或少的封閉管道。
當地語言的文件
文件是按照機器指令 89/392/EWG 進行編制的。其并不適用德語和英語。該文件并不會自行隨附于設備，必須單獨訂購。
轉鼓
產品支架型用于裝載散裝件。
壓力計
Pirani 傳感器或者 Baratron 壓力指示器位于真空腔室中。
減壓器
減壓器用于連接 200 bar 的氣瓶。不同的氣體需要不同的減壓器。故此，針對惰性氣體 H2, O2, CF4, C4F8 具有一種減壓器，針對 NH3 另具有一種減壓器。
連續生產系統
用于在一條自動化加工生產線中整合一臺低壓等離子設備。
標準備件套件或者 PFPE
備件套件包括：各 1 個夾緊環、1 個密封件、1 個不銹鋼波紋軟管（真空軟管）、1 塊窗玻璃、1 個夢密封條、10 個用于等離子設備的小型熔斷器，標準套件還包含 1 升用于真空泵的礦物油，PFPE 套件還包括 1 升用于真空泵的 PFPE 油。
標簽打印機
在等離子處理之后自動打印標簽。
標簽讀取器
用于對批次進行跟蹤。
Faraday 盒 / 籠
用于電敏感零部件。將待處理的零部件置于 Faraday 盒中。可將其從真空腔室中去除。
氣瓶架
固定于工作臺、架子或者墻壁條處。跨度為 70mm。固定張力皮帶，不得活動。其適用于所有氣瓶規格。
氣體檢測儀（德爾格）
在工作場所使用時的額外安全選裝件。
半自動控制
關于我們的各種控制變量的詳細說明，您可以在菜單項“等離子設備/控制/半自動控制”下找到。
加熱板
將待處理的零部件置于加熱板上，可將其加熱至 150 °C，其適用于規定的工藝條件和較高的蝕刻速率。其具有兩個選裝件：
配備了溫度指示器，在真空腔室的內部安裝了一個溫度傳感器，，借此可以對零部件的表面溫度進行測量。 配備了集成于 PC 控制系統中的溫度指示器，還在真空腔室的內部安裝了一個溫度傳感器，，借此可以對零部件的表面溫度進行測量。 顯示屏上會顯示溫度。
現場安裝您的等離子設備
該選項包括了我們服務人員的差旅時間、工作時間以及差旅費。
腐蝕性氣體設計結構
閥門均為不銹鋼材質，配管均為不銹鋼材質。如果采用等離子體聚合法或者使用腐蝕性氣體，例如，NH3, H2O, CF4, SF6 的時候，則具有強制性要求。
客戶的產品支架
標準情況下，我們的設備總是和一個產品支架一同交付的。附加或者其他設計結構 - 用于實現等離子設備的使用 - 可在與 Diener electronic 公司協商之后制作完成。
噴漆/玻璃板套件（無 LABS 測試）
用于進行油漆濕潤干擾測試的配件。供貨范圍：5 灌噴漆，每灌 400 ml。100 塊玻璃板，每塊 90 mm x 110 mm。
真空腔室慢速通風裝置
通過一個過濾器對真空腔室進行緩慢的通風。這樣可以防止腔室中的小型零部件的急速旋轉。
真空腔室的慢速抽吸裝置
通過旁路閥對真空請示進行緩慢的抽吸。這樣可以防止腔室中的小型零部件的急速旋轉。
較長的真空腔室 (Femto, Pico, Nano, ...)
真空腔室可以采用不銹鋼材質、硼硅玻璃或石英玻璃材質。腔室閉鎖件可選擇蓋子或者配有鉸鏈的門。真空腔室的長度取決于您對于等離子應用的需要。請和我們聯系。
功率指示燈
顯示發生器的功率。模擬指示器-儀表。
多層電極
多層電極適用于圓形和/或矩形真空腔室。可以一次對多個零部件進行處理。應用領域為標準等離子工藝。請和 Diener electronic 公司就您個性化電極的確切結構以及制作產品支架的其他材料方面進行洽詢。
微波泄漏檢測儀
由于可能會用到危險的輻射，所以需為微波設備安裝一個微波泄漏檢測儀。
單體瓶
聚合配件。用于將液態單體連接至真空腔室。
網絡連接
借此可將設備與計算機連接。
OES - 光發射光譜儀
對等離子工藝進行監控，以確保質量。檢測等離子工藝的最終產物。OES 只能和一個 PC 控制型設備一同使用。
PC 控制系統
關于我們的各種控制變量的詳細說明，您可以在菜單項“等離子設備/控制/PC 控制”下找到。
PCCE-控制系統
基于 Windows CE 環境，配有觸摸面板。關于我們的各種控制變量的詳細說明，您可以在菜單項“等離子設備/控制/PCCE 控制”下找到。
聚合配件
包括蒸發瓶、一個天平秤、計量泵、加熱器、可能還有支架。
工藝氣體-氣瓶
氧氣-氣瓶用作工藝氣體的連接，其為 2.5 和 10 升規格，氫氣-氣瓶的規格為 2 升，氬氣-氣瓶的規格為 5 升。 針對氣體供應，需將特殊的運輸條件考慮在內。如果使用的是出租設備，則必須購買氣瓶。
石英玻璃舟皿
共提供兩種規格。用于超高純度等離子工藝或者晶片處理。
RIE-電極
分為圓形和矩形兩種，均被不銹鋼材質，可獲得較高的蝕刻速率。應用領域為各向異性和各向同性蝕刻。
具有氣體噴淋的 RIE 電極
矩形，不銹鋼材質。通過均勻的氣體分布，可獲得較高的蝕刻速率。
卷到卷系統
例如，用于處理膜 / 引線框架。
氧氣發生器
環境空氣中會產生氧氣。型號 Kr?ber O2。氧氣輸出率：3-6 l/min。
安全閥
用于采用，例如，氫氣、乙炔...
專用電極和產品支架
請和 Diener electronic 公司就您個性化電極的確切結構以及制作產品支架的其他材料方面進行洽詢。
特殊法蘭 / 其他法蘭
如果需要用到的接口數量超過準備好的接口數量，則可以使用特殊法蘭。
特殊真空腔室
按照 DIN 12198 標準，在我們的設備附近（觀察窗）進行了紫外線輻射測量。結果：無害。特殊真空腔室具有圓形配蓋子的結構，以及矩形配門（門配有鉸鏈）的結構，其為鋁制結構，還可以通過開孔直徑和內部大小來進行區分。請和我們聯系。
標準電極，圓形或者矩形
不銹鋼板/鋁板材質，適用于標準等離子工藝。
TEM-樣品架
特殊裝置，用于從外部導入等離子體腔室。可以提供任何尺寸。請告知我們您的零部件的尺寸/圖紙。
溫度指示器
腔室溫度的溫度指示器，不含加熱板。真空腔室內部安裝了一個溫度傳感器。可借此測量零部件的表面溫度。溫度指示器也可以集成于 PC 控制系統之中。會在顯示屏上顯示溫度。
測試墨水-套件
測試墨水用于對表面張力進行簡單分析。一個套件中包含了 28, 38, 56, 64, 72 和 105 mN/m。其他數值需按要求提供。
熱蒸發器
適用于具有較低蒸汽壓力的基材。 杯口直徑：16 mm，杯容量： 0,1 l.屏蔽等離子效果，控制溫度（ 500 °C ）和溫度上升速度（可達 250 °C/min ）。需通過小法蘭結構進行連接。
真空腔室為玻璃材質（硼硅或石英）
硼硅玻璃材質的真空腔室適用于高純度等離子工藝。石英玻璃材質的真空腔室適用于超高純度等離子工藝。
不銹鋼材質的真空腔室
不銹鋼材質的真空腔室適用于標準等離子工藝。
真空泵泵座
含礦物油或者 PFPE 油的旋片泵或干運行泵。供貨時泵已經充滿了油。
全自動控制
關于我們的各種控制變量的詳細說明，您可以在菜單項“等離子設備/控制/全自動控制”下找到。
用于處理粉末的裝置
在一個旋轉式氣瓶中處理粉末。充注的時候，可以從設備中將氣瓶取出。
清洗袋
用于在清洗機中對小型零部件進行預清洗。規格：500 mm x 300 mm. 最小訂購量：20 件 -
水冷系統
配有滾輪的水-氣-冷卻裝置，適用于移動式應用。通過泵保護電路的 2 個轉換觸點進行無電位型連接。
為您的等離子設備提供維護服務
Diener electronic 公司提供的維護服務包含一種無縫銜接服務。換油、檢查所有連接、密封件、插頭等，泄漏率試驗、校準壓力傳感器以及功能檢查。關于維護和服務方面的更多信息請點擊菜單項“咨詢/服務”。
清洗干燥器
用于在等離子處理之前對小型零部件進行初步清洗。僅用于很臟的零部件。制造商： Miele: 型號 WT 2670 WPM.
水冷式產品支架-板件
水冷式板件安裝于腔室底部，供貨時還包含了水泵和水箱。其用于對熱敏感的零部件進行冷卻。
其他軟件功能
軟件可隨時擴展其他選項。請告知我們您的要求。
額外的氣體通道
針型閥： 我們的設備可以配備任何數量的針形閥。標準情況下，Femto 型等離子設備配備了 1 - 3 個，可按照要求配備更多針型閥。
額外的 MFCs
MFCs: 在控制 PC 和 PCCE 的時候需要用到。我們的設備可以配備任何數量的質量流量控制器 (MFCs)。
