真空度測(cè)試儀（中西器材） 型號(hào):M25257庫號(hào)：M25257   查看hh

真空度測(cè)試儀是真空滅弧室的真空度的鑒定設(shè)備。它以單片計(jì)算機(jī)為主控單元，測(cè)試過程*實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化。該儀器在原理上改變了外同類產(chǎn)品采用電流峰值做標(biāo)定的方法，而采用離子電荷來做標(biāo)定。這樣，在物理原理上有的準(zhǔn)確性，而且，地抑制了測(cè)試過程中脈沖電源的干擾，使測(cè)試穩(wěn)定

該儀器采用兩次采樣的方法扣除由于環(huán)境因素產(chǎn)生的漏電電流，并且在測(cè)量過程中考慮了*漏氣的真空滅弧室的判別，做到了對(duì)安裝于整機(jī)上的真空滅弧室的準(zhǔn)確計(jì)量。目前，該儀器中已存有26條真空滅弧室的測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)曲線，涵蓋了外絕大多數(shù)管型。

1、基于電離電荷的采樣

ZKY2000型真空度測(cè)試儀均采用基于電離電荷的采樣。我廠在磁控放電的研究中發(fā)現(xiàn)：在外激勵(lì)電源、真空滅弧室的幾何尺寸、所用材料一定時(shí),真空滅弧室里的真空度與電離的電荷量有非常準(zhǔn)確的對(duì)應(yīng)關(guān)系,而與電離電流的峰值概率上的相關(guān)性。因此，我廠了基于電離電荷的采樣技，顯著提高了真空滅弧室的真空度計(jì)量的準(zhǔn)確性。

2、漏電電流的處理

對(duì)處于分?jǐn)酄顟B(tài)的真空滅弧室兩端加高壓時(shí)，會(huì)有數(shù)值不等的幾個(gè)微安的漏電電流，此漏電電流即使是同型號(hào)的真空滅弧室也有較大的個(gè)體差異。尤其是對(duì)于裝在整機(jī)上的真空滅弧室，由于其周邊的絕緣支撐件也有漏電，這些漏電的總和有更大的不穩(wěn)定性和不可預(yù)測(cè)性，并且在數(shù)值上與10E-4Pa數(shù)量級(jí)的真空滅弧室的電離電流相當(dāng)。我們采用兩次起動(dòng)高壓的方法，扣除了漏電電流，保證了無論是裝于整機(jī)上還是待裝的真空滅弧室的真空計(jì)量精度。

參數(shù)

1、測(cè)量范圍：1*10-5～1*10-1pa

2、測(cè)量誤差：l*l0-4～1*l0-1pa中誤差<5%

3、測(cè)量分辨率：10-5pa

4、允許環(huán)溫：O℃～55℃

5、空氣濕度：<85%RH

6、電  源：AC220士10%

7、外型尺寸：430X300X235mm