主要特性與技術(shù)指標
· 3 種頻率選件：1 MHz 至 500 MHz/1 GHz/3 GHz，可升級
· ±0.65% 基本精度和 120 m? 至 52 k? 阻抗范圍（10% 測量精度范圍）
· 測量參數(shù)：|Z|、|Y|、θ、R、X、G、B、L、C、D、Q、|Γ|、Γx、Γy、θΓ、Vac、Iac、Vdc1、Idc1（1. 需要選件 001）
· 內(nèi)置直流偏置（選件 001）：0 V 至 ±40 V，0 A 至 ±100 mA
· 10.4 英寸彩色 LCD 觸摸屏可顯示 4 個通道和 4 條跡線
· 數(shù)據(jù)分析功能：等效電路分析、極限線測試
· 介電/磁性材料測量（選件 002）：|εr|、εr'、εr''、tanδ(ε)、|μr|、μr'、μr''、tanδ(μ)
· 提供溫度特征測量（選件 007）和可靠的晶圓上測量（選件 010）
描述
E4991B 阻抗分析儀具有 1 MHz 至 3 GHz 的頻率范圍，可在寬阻抗范圍內(nèi)提供 0.65% 的基本精度，并且內(nèi)置 40 V 直流偏置源（選件 001）。等效電路分析功能支持 7 種不同的多參數(shù)模型，可幫助您仿真元器件的等效參數(shù)值。
3 種頻率選件（1 MHz 至 500 MHz/1 GHz/3 GHz）以及頻率升級選件使您可以根據(jù)當前的投資額度選購更適合的選件。
材料測量選件提供溫度特征分析功能（選件 007），并能夠直接得到介電常數(shù)和導磁率的讀數(shù)（選件 002）。
探頭臺連接套件（選件 010）可以在高達 3 GHz 的頻率范圍內(nèi)提供精確的晶圓上或微型元器件阻抗測量解決方案。
