CO2熱式氣體質量流量控制器:在一般情況下,質量流量控制器和質量流量計的單位都是以sccm(毫升/分鐘)和slm(升/分鐘)表示;s代表stand,指標準狀況下;cc指毫升;l指升,m代表minute,指分鐘。
CO2熱式氣體質量流量控制器:而對多數用戶而言,體積流量的表示方法很符合習慣﹑也便于使用,但也有用戶需要知道單位時間內流過介質的質量(如g/min或者g/h),這個要求是很容易實現的。因為標準狀態下的氣體密度是一個常數, 可以方便地查到,因而簡單地做一個乘法(以密度乘以若干slm)即可實現。所以說,在標準狀態下的體積流量其實就等同于質量流量。