中圖儀器3d光學檢測輪廓儀可測量程范圍內的三維尺寸，不過白光干涉儀主要還是用于檢測樣品表面的粗糙度、臺階高、微觀幾何輪廓等參數，屬于3D測量領域高精度檢測儀器之一，其在同等系統放大倍率下檢測精度和重復精度都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡，在一些納米級和亞納米級超精密加工領域，除了白光干涉儀，其它的儀器無法達到其精度要求。
性能特點
1、參數測量：粗糙度、圍觀輪廓尺寸、角度、面積、體積；
2、環境噪聲檢測：實時監測，納米波動，也無可藏匿；
3、雙重防撞保護：軟件ZSTOP和Z向硬件傳感器，讓“以卵擊石”也能安然無恙；
4、自動拼接：3軸光柵閉環反饋，讓3D拼接“天衣無縫”；
5、雙重振動隔離：氣浮隔振，吸音隔振，任你“地動山搖，我自巋然不動”。
中圖儀器3d光學檢測輪廓儀具有測量精度高、功能全面、操作便捷、測量參數涵蓋面廣的優點，測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內，確保了高款率檢測。并且其特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。
中圖儀器讓輪廓測量價格更為實惠，3d光學輪廓儀設備的分辨率0.1μm，重復性0.1%，應用領域廣泛，操作簡便，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數。適用于各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、孔隙間隙、彎曲變形情況、腐蝕情況、表面缺陷、臺階高度、波紋度、磨損情況、面形輪廓、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
