智能供氣系統
產品外觀 |
智能供氣系統簡介 |
智能供氣系統以質量流量控制器為核心部件,配有電磁閥、加濕裝置、控制系統等,用以實現智能供氣。
系統可按照比例亦可按照濃度和總流量進行設置,以控制三路氣體的流量比例。其中控制系統實現了常用氣體質量流量轉換系數自動切換,濃度配比智能計算等。方便了用戶操作和使用。
技術參數 |
系統供電:(220±22)VAC,(50±0.5)Hz;
外觀尺寸:(深)500X(寬)600X(高)X1300
流量規格:200SCCM;
準確度:±1.5%F.S;
線性誤差:±1%F.S;
重復精度:≤0.2% F.S;
響應時間(電特性):10s;
響應時間(電特性):≤4s。
現場應用 |
中國原子能科學研究院 1套