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提供金屬膜/半導體膜/絕緣膜鍍膜服務

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  • 所在地上海
  • 更新時間2022-06-02
  • 廠商性質代理商
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我們采用以下手段,可以制備各種膜!電子束蒸鍍(E-beamevaporation):-可以蒸鍍各種金屬、非金屬材料磁控濺射鍍膜(MagnetronSputtering):-制備各種金屬、非金屬薄膜
提供金屬膜/半導體膜/絕緣膜鍍膜服務 產品詳情

我們采用以下手段,可以制備各種膜!

 

電子束蒸鍍(E-beam evaporation):

-可以蒸鍍各種金屬、非金屬材料

 

磁控濺射鍍膜(Magnetron Sputtering):

-制備各種金屬、非金屬薄膜;

-可連續沉積多層膜,包括介質薄膜、金屬薄膜、光學薄膜

-俄歇測試發現,界面層和薄膜內部含氧量極低,不到普通的磁控濺射含氧量的1/4

-可以真空800℃退火等處理;

 

高密度等離子體化學氣相沉積(PECVD):

-制備高致密氧化硅,BOE腐蝕2.5nm/s;

-制備低應力超厚氧化硅、氮化硅薄膜,最厚可達30um;

-制備均勻性良好的絕緣薄膜

 

金屬膜:Ni, Au, Cu, Ag, Pt, Co, Cr, Fe, Nb, W, Al, Ge, Ta, Ti, Pd, Mo等

氧化膜:SiO2, ZrO2, TiO2等

 

可接受特殊要求鍍膜服務!

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