上海續(xù)波光電技術(shù)有限公司是一家專業(yè)從事高性能薄膜沉積及處理設備、光電材料、光學軟件等產(chǎn)品進口的技術(shù)貿(mào)易服務型公司，公司至今已與歐美、日本等國家的十余家企業(yè)建立了戰(zhàn)略合作關系；目前服務于國內(nèi)從事微電子、半導體、光學、納米技術(shù)等領域的研究所和大學。主要產(chǎn)品包括：濺射、蒸發(fā)鍍膜儀、離子減薄儀、刻蝕機、等離子處理設備、CVD金剛石沉積設備、激光輔助化學束沉積設備，紅外窗口材料、各種功能CVD金剛石產(chǎn)品，光學設計、激光仿真、BSDF/BRDF測量儀、電磁場模擬仿真及測量儀器等模擬設計軟件等。
關鍵詞：SiO2、AlN、Al2O3、介電膜、刻蝕、電子槍、
離子槍、氧化鋁、氮化鋁、二氧化硅
型號： MEB400S， 產(chǎn)地：歐洲 應用：沉積介電薄膜（SiO2, AlN, Al2O3等）
用于介電質(zhì)膜層沉積，例如SiO2，Si3N4，Al2O3
樣品臺雙行星轉(zhuǎn)動，可加載4英寸襯底
配備Load Lock和主腔體
真空系統(tǒng)：采用低溫泵/分子泵+干泵
10kW電子束源，多槍
樣品臺可加熱
配備離子槍，可對樣品進行清理和刻蝕
配備氬氣、氮氣氣路和MFC
全自動電腦控制系統(tǒng)，半自動和手動可用
支持遠程維護、操作、監(jiān)控
典型用戶：格拉斯哥大學
| 產(chǎn)品名稱 | 參考價 | 地區(qū) | 公司名稱 | 更新時間 | |
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