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  • 介電薄膜沉積專用電子束蒸鍍設備

介電薄膜沉積專用電子束蒸鍍設備

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地上海
  • 更新時間2022-06-02
  • 廠商性質(zhì)代理商
  • 所在地區(qū)上海市
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量99
  • 人氣值1267
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關鍵詞:SiO2、AlN、Al2O3、介電膜、刻蝕、電子槍、離子槍、氧化鋁、氮化鋁、二氧化硅型號:MEB400S
介電薄膜沉積專用電子束蒸鍍設備 產(chǎn)品詳情

關鍵詞:SiO2、AlN、Al2O3、介電膜、刻蝕、電子槍、

              離子槍、氧化鋁、氮化鋁、二氧化硅

 

 

  型號: MEB400S,  產(chǎn)地:歐洲    應用:沉積介電薄膜(SiO2, AlN, Al2O3等)

 

  • 用于介電質(zhì)膜層沉積,例如SiO2,Si3N4,Al2O3

  •  

  • 樣品臺雙行星轉(zhuǎn)動,可加載4英寸襯底

  •  

  • 配備Load Lock和主腔體

  •  

  • 真空系統(tǒng):采用低溫泵/分子泵+干泵

  •  

  • 10kW電子束源,多槍

 

  • 樣品臺可加熱

  •  

  • 配備離子槍,可對樣品進行清理和刻蝕

  •  

  • 配備氬氣、氮氣氣路和MFC

  •  

  • 全自動電腦控制系統(tǒng),半自動和手動可用

 支持遠程維護、操作、監(jiān)控

 

 典型用戶:格拉斯哥大學

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