氣動控制裝置 ALICAT氣體質量流量控制器 外形包括1/4″ VCR焊接接頭且能與SEMI標準氣體質量流量控制器實現端對端的匹配連接。
MCV和MCE聯系緊密，采用內置氣動截止閥，適用于高真空應用。將空氣管線連接到截止閥上，防止在設定點為零時出現污染情況。
氣動控制裝置 ALICAT氣體質量流量控制器
是真空專用設備。MCE系列產品的特征如下：與我們標準質量流量控制器的控制響應速度一樣快，外形包括1/4″ VCR焊接接頭且能與SEMI標準氣體質量流量控制器實現端對端的匹配連接。
MCV和MCE聯系緊密，采用內置氣動截止閥，適用于高真空應用。將空氣管線連接到截止閥上，防止在設定點為零時出現污染情況。
多功能。監控流速的同時控制壓力；可選擇另一臺已知路程氣體校準儀或者利用COMPOSER™氣體編輯器確定自己的氣體組成。
連接。利用以太網/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項，可將這款產品輕松整合到您的數字工業網絡中。
耐用。MCE和MCV系列真空氣體質量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時流動。
氣動控制裝置 ALICAT氣體質量流量控制器
性能
可用量程：0-20 slpm；最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，請參見零件編號標簽）
可調比：200:1（MCE/MCV）或者100:1 （MCES/MCVS）
標準精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數+0.2%滿量程）
高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數+0.2%滿量程）
可重復性：0.2%滿量程
標準控制器響應時間常數：50-100ms（若有PID調節功能，可縮短至25ms）
氣動閥漏氣率（僅MCV系列）：1 x 10-9 atm scc/sec（值，氦氣）
無需預熱時間
