艾里卡特Alicat氣體質(zhì)量流量控制器 快速、精準(zhǔn)地確定穩(wěn)定的流量。與任何其它產(chǎn)品相比，我們的質(zhì)量流量控制器能夠更快地到達(dá)其設(shè)定值，使其能夠抑制管線(xiàn)壓力波動(dòng)，因而不會(huì)影響您的過(guò)程下游。定制化閥門(mén)選配項(xiàng)和出廠PID調(diào)節(jié)能確保您的MFC在具體應(yīng)用中具備良好性能。
基于壓力的質(zhì)量流量?jī)x表的性能：
在大多數(shù)流量?jī)x表上0.6%的讀數(shù)精度
4 ms響應(yīng)時(shí)間
無(wú)需預(yù)熱
四個(gè)過(guò)程變量
內(nèi)置的顯示
工業(yè)協(xié)議
壓力補(bǔ)償
溫度補(bǔ)償
寬動(dòng)態(tài)流量范圍
艾里卡特Alicat氣體質(zhì)量流量控制器性能
可用量程：0-100 sccm、0-1000 sccm、0-20 slpm 和0-50 slpm（參見(jiàn)零件編號(hào)標(biāo)簽）
可調(diào)比：200:1（1/20和50 slpm）或100:1（100 sccm）
校準(zhǔn)精度（NIST可溯源）：±（1.5%讀數(shù)+0.5%滿(mǎn)量程）
可重復(fù)性：0.5%滿(mǎn)量程
標(biāo)準(zhǔn)控制器響應(yīng)時(shí)間常數(shù)：100ms（可利用PID調(diào)節(jié)功能調(diào)節(jié)）
預(yù)熱時(shí)間：70ms，達(dá)到完整精度
艾里卡特Alicat氣體質(zhì)量流量控制器性能
可用量程：0-100 sccm、0-1000 sccm、0-20 slpm 和0-50 slpm（參見(jiàn)零件編號(hào)標(biāo)簽）
可調(diào)比：200:1（1/20和50 slpm）或100:1（100 sccm）
校準(zhǔn)精度（NIST可溯源）：±（1.5%讀數(shù)+0.5%滿(mǎn)量程）
可重復(fù)性：0.5%滿(mǎn)量程
標(biāo)準(zhǔn)控制器響應(yīng)時(shí)間常數(shù)：100ms（可利用PID調(diào)節(jié)功能調(diào)節(jié)）
預(yù)熱時(shí)間：70ms，達(dá)到完整精度
艾里卡特Alicat氣體質(zhì)量流量控制器性能
可用量程：0-100 sccm、0-1000 sccm、0-20 slpm 和0-50 slpm（參見(jiàn)零件編號(hào)標(biāo)簽）
可調(diào)比：200:1（1/20和50 slpm）或100:1（100 sccm）
校準(zhǔn)精度（NIST可溯源）：±（1.5%讀數(shù)+0.5%滿(mǎn)量程）
可重復(fù)性：0.5%滿(mǎn)量程
標(biāo)準(zhǔn)控制器響應(yīng)時(shí)間常數(shù)：100ms（可利用PID調(diào)節(jié)功能調(diào)節(jié)）
預(yù)熱時(shí)間：70ms，達(dá)到完整精度
