B1505A 功率器件分析儀 曲線追蹤儀是一種單機解決方案，它具有在10kV 和 1500A 條件下精確評估和表征功率器件的下一代曲線追蹤儀功能。B1505A 能評估所有類型的功率器件，其優異的性能特性包括寬電壓和電流范圍，快脈沖能力 ( 10μs ) ，μ Ω級導通電阻測量分辨率，以及亞 pA 級電流測量能力。此外，它的示波器觀察功能還可對脈沖波形進行視覺驗證。每個通道上配備的兩個獨立的模數( A / D )轉換器支持 2 μs 采樣率，能夠對有可能影響器件特性的
關鍵計時進行精確監測。它也能在高電壓偏置 ( 達3000V )下進行電容測量。帶 EasyEXPERT 軟件的 B1505A 包括將熟悉的曲線追蹤儀測量功能與方便的 PC 基儀器相組合的曲線追蹤儀工作模式，傳統曲線追蹤儀用戶能很快掌握該儀器的操作。對于測量功率器件和電源電路，該儀器更便于使用，有更好的數據分析能力，同時也簡化了對測量數據的管理。
● 進行寬范圍的 IV 測量
● 達 10 kV/1500 A
● 大的峰功率: 22.5 kW
● 高壓偏置下的中電流測量
(即 500 mA, 1200 V 下)
● μΩ 電阻測量
● 亞 pA 泄漏測量
● 進行高電壓偏置的 CV 測量
● 脈沖測量 (≥ 10 μs)
● 溫度測量
● 易于使用的 EasyEXPERT 測試環境
● 曲線追蹤儀測試模式
● 示波器觀察方式
● 模塊化配置, 有 10 個用于支持模塊
的插槽
● 多種適用 SMU 類型 : HPSMU,
MPSMU, HCSMU, MCSMU 和 HVSMU
● 多頻電容測量單元 (MFCMU)，
(1 kHz 至 5 MHz)
● 適用于封裝測試和圓片測試的標準
附件: 測試夾具, 模塊選擇器和
高壓偏置三通
● 主機隨帶 4.2 A 接地單元
● 用于儀器控制的 GPIB 端口
● 自測, 自校, 自診
指標條件
規定的測量與輸出精度需符合下列條件。注: SMU 的測量和輸出精度規定為在 SMU 連接端處, 用檢零端作參照。
1. 溫度: 23°C ± 5°C
2. 濕度: 20% 至 70%
3. 要在 40 分鐘預熱后進行自校
4. 在自校后, 環境溫度變化需小于
±1°C (注: 不適用于 MFCMU)
5. 在自校后一小時內進行測量
(注: 不適用于 MFCMU)
6. 校準周期 : 一年
7. SMU 積分時間設置 : 1 PLC (1 nA 至
1 A 量程, 電壓量程), 200 μs (20 A
量程) 高速模數轉換器平均;
每 1 PLC 為 128 采樣樣本
8. SMU 濾波器 : 開 (對于 HPSMU 和
MPSMU)
9. SMU 測量端連接:開爾文連接(對于 HPSMU, MPSMU, HCSMU 和MCSMU), 非 Kelvin ( 對于 HVSMU )注: 本文列出了 B1505A 及其模塊的技術指標和補充特性。技術指標是對 B1505A 和相關模塊的測試標準。出廠的 B1505A 及任何相關模塊均符合技術指標要求。技術指標之后的“補充”特性不是保證的指標，而是提供儀器功能和性能的有用信息。
注: 當您在 B1505A 主機中安裝或更換模塊時，Agilent 保證這些模塊的功能性，模塊是按技術指標進行的設計。但如果您要求模塊達到技術指標，則必須對儀器進行校準。
支持的插入模塊
B1505A 支持 10 個模塊插槽
部件號說明占用插槽工作范圍測量分辨率
B1510A 高功率源監視單元 (HPSMU) 2 -200 V 至 200 V, -1 A 至 1 A 2 μV, 10 fA
B1511A 中功率源監視單元 (MPSMU) 1 -100 V 至 100 V, -100 mA 至 100 mA 0.5 μV, 10 fA
B1512A 大電流源監視單元（HCSMU） 2 -100 V 至 100 V, -1 A 至 1 A
-20 V 至 20 V, -20 A 至 20 A (脈沖)
200 nV, 10 fA
B1513B 高壓源監視單元 (HVSMU) 2 -3000 V 至 3000 V, -4 mA 至 4 mA
-1500 V 至 1500 V, -8 mA 至 8 mA
200 nV, 10 fA
B1514A 中電流源監視單元 (MCSMU) 1 -30 V 至 30 V, -100 mA 至 100 mA
-30 V 至 30 V, -1 A 至 1 A (脈沖)
200 nV, 10 pA
B1520A 1 多頻電容測量單元 (MFCMU) 1 1 kHz 至 5 MHz 0.035 fFrms 2
1. B1505A 不支持 N1300A-100 SMU CMU 統一單元 (SCUU)。
2. 10 pF 電容器接到測量端時, 在下列測量條件下有效: 1 MHz 頻率, 信號電平 250 mV AC, 測量時間 1 PLC。在 6 位顯示時, 1 fF 量級的顯示分辨率為 0.000001 fF。
