製品概要
新的緊湊型 EPX180 高真空干泵的特性是：工作性能，運行成本更低。 EPX180 使用了的保護機械裝置，能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。
EPX LE 系列的泵具有一個終用戶控制器 (EUC)。 通過終用戶控制器可以實現獨立使用的本地控制，并能夠連接到結構的網絡，以進行遠程控制和監視。
EPX LE 系列的泵具有一個終用戶控制器 (EUC)。 通過終用戶控制器可以實現獨立使用的本地控制，并能夠連接到結構的網絡，以進行遠程控制和監視。
應用
- EPX 系列涵蓋的應用，從水處理到中度工作負載的制程。
EPX“LE”系列的設計旨在用于清潔工作應用泵送惰性氣體混合物（如負荷鎖定），通過制程機臺接口提供控制。
功能和優勢
- 緊湊的占地面積 – 作為可用的工具上泵之一，EPX 節省了占地面積。EPX 可以直接安裝到工具上，從而節省了前級管道和安裝成本，如果需要也可遠程安裝。
- 低運行成本 - EPX 僅需要 1.4 kW 的功率和整合空閑模式，從而可大化功率效率。
- 的保護機械裝置 – EPX 可以從大氣壓抽空到渦輪分子基準壓力，并可以在進氣口壓力下連續工作。
- 清潔機械裝置 – 傳統的高真空軸承底油脂使用油脂潤滑，這可能成為制程工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承底油脂，并且不存在任何其他的潛在污染源。
- – EPX 基于經過現場驗證的 IPX ，具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，大約每 5 年維修一次，大程度地延長了泵的使用壽命。
- 可兼容的網絡 - EPX 系列配有終用戶控制，可以連接到結構的網絡，以進行診斷監視和控制。
數據
| 峰值速度 | 170 m3h-1 |
| 105 ft3min-1 | |
| 2835 lmin-1 | |
| 極限真空 | |
| <1 x 104 mbar | |
| <7.5 x 10-5 Torr | |
| <1 x 10-2 Pa | |
| 預熱時間（達到標稱性能） | 30 分鐘 |
| 入口法蘭 | ISO63 |
| 法蘭 | NW25 |
| 噪音 | <59 dB(A) |
| 水接頭 | 3/8 in 快速 |
| 冷卻水流速 | 2 lmin-1 |
| 冷卻水溫度 | 15 – 35°C |
| 電源供給 | 200/208 V，50/60 Hz 三相 |
| 極限功率 | 1.4 kW |
| 電機額定功率 | 3.0 kW |
| TIM | 無 |
| 重量 | 43.5 kg |
