WGFGT1PR1

ENTEGRISWGPMOGGT2

ENTEGRISWGPMOGGT2過濾器

ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器

ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器

ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器

ENTEGRISXX67000WH過濾器

ENTEGRISWGGB01KAN氣體過濾器

ENTEGRISWGFG01KL0過濾器

EntegrisWGFGT1PR1過濾器

ENTEK1442-PR-0812E0210N探頭

ENTEK1442-DR-5850前置器

EntegrisWGFGMBRR4

ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器

ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器

ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器

ENTEGRISYY260103P濾殼

ENTEGRISPN2H010E1濾芯

EntegrisWGMXMBRR4過濾器

EntegrisWGFG02PR1過濾器

EntegrisWGFGT1PR1過濾器

ENTEGRISDS12-2C-16F-3氣動閥

GENTECSS-RV32RA-TF8泄壓閥

ENTEGRISWGPMOGGT2過濾器

ENTEGRISWGPMOGGT4過濾器

EntegrisWGPM0GGT4過濾器

EntegrisWG2SS8RR2過濾器

EntegrisWG3NS6RR2過濾器

ENTEGRISCR8-2CT-12FF-3閥

ENTEGRISYY260103P濾殼

ENTEGRISPN2H010E1濾芯

ENTEGRISWGPMOGGT4過濾器

gentec-EoMAESTRO主機

gentec-EoUP19K-15S-H5-D0探頭

ENTEGRISXX67000WH過濾器

ENTEGRISWGGB01KAN過濾器

ENTEGRISWGFG01KL0過濾器

ENTEGRISWGMXMBRR4過濾器

Wafergard  II F 微型在線氣體過濾器
這些氣體過濾器推薦用于惰性氣體和反應性氣體，與所有類別的半導體工藝氣體具有出色的兼容性，并且易于安裝在狹窄的氣體面板和機柜中。 

PTFE 膜提供高效過濾
低壓降降低了在較低蒸氣壓氣體中冷凝的風險
與所有類別的半導體工藝氣體具有出色的兼容性
用于惰性和反應性氣體，包括臭氧
 應用
Wafergard  II F 微型在線氣體過濾器應用
生命科學應用
臭氧應用（氣體）
氣柜和面板
超純氣體系統
內部流程工具
產品規格
材料
     濾芯
     由模壓 PFA 結構支撐的疏水 PTFE 膜
住房    電拋光 VAR 316L 不銹鋼
下游清潔度     小于 0.03 個顆粒/升 (<1 個顆粒/ft 3 ) 大于 0.01 µm 
揮發物    <10 ppb 水分
移除等級    ≥0.0015 µm    
表面處理內部    ≤7 µin Ra    
氦泄漏等級    合格的    2 × 10 -10毫升/秒
經過測試    1 × 10 -9毫升/秒
運行條件     入口壓力    207 bar (3000 psig) @ 23°C (73°F)
 正向壓差    4 巴 (60 psid) @ 23°C (73°F)
 
 反向壓差    0.07 MPa (0.7 bar,10 psid) @ 23°C (73°F)
 
 工作溫度    120°C (248°F)
顆粒保留
     大于 99.9999999% (9 LRV) 在 30 slpm 下去除所有顆粒（參考 穿透性的顆粒尺寸）
流量等級    參考性能數據
零件號
Wafergard  II F 微型在線氣體過濾器部件號
零件號    接頭尺寸和類型    長度    應用
WG2FT1BW2    1/4" 對焊管    89.9 毫米（3.54 英寸）    半導體
WG2FT1RF2    1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）公入口/母出口    88.9 毫米（3.50 英寸）    半導體
WG2FT1RR2    1/4" 墊片密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口    84.1 毫米（3.31 英寸）    半導體
WG2FT1RR2L    1/4" 墊片密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口    84.1 毫米（3.31 英寸）    生命科學
WG2FT1SS2    1/4" 壓縮密封（與世偉洛克接頭兼容）    73.7 毫米（2.90 英寸）    半導體

ENTEGRISDS12-2C-16F-3偵測器

EntegrisWG2SS8RR2過濾器

EntegrisWG3NS6RR2過濾器

ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器

ENTEGRISWG3NS2RR4過濾器

ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器

ENTEGRISYY260103N過濾器

EntegrisCR4-2C-6F-3氣動閥

ENTEGRISWGPMOGGT4過濾器

EntegrisWG2FT1SS2過濾器

ENTEGRISWGFG01DS0（一包十個）濾芯

ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器

ENTEGRIS CTFV01P01KPW濾芯

ENTEGRISDS12-2C-16F-3 13085331氣動閥

ENTEGRISWG3NS2RR4過濾器

ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器

ENTEGRISWGMXMBRR4過濾器

EntegrisCWFV0S1S3濾芯

ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器

ENTEGRISWGPMOGGT2過濾器

ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器

ENTEGRISWGMXMBRR4過濾器

ENTEGRISDS12-2C-16F-3氣動閥

ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器

ENTEGRISCN2501E6濾芯

ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器

ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器

EntegrisWGPM0GGG2過濾器

entegrisWGFGMBRR4過濾器

ENTEGRISWG2SS8RR2過濾器

ENTEGRISCN2501E6濾芯

EntegrisSVTH01TQ1過濾器

ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器

ENTEGRISCN2501E06濾芯

ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器

ENTEGRISWGFG50PR1過濾器

ENTEGRISWGFG01DSH過濾器

ENTEGRISPLMV-K12閥

ENTEGRISPLMV-K04閥

ENTEGRISPLMV-K16閥

ENTEGRISPLPV-K04閥

ENTEGRISPLPV-K08閥

ENTEGRISPLPV-K12閥

ENTEGRISPLPV-K16閥

ENTEGRISWG2F02RR2

ENTEGRISCR8-2CT-12FF-3氣動閥

ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器

EntegrisWG2FT1RR2過濾器

ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器

EntegrisYY5032PS1過濾器

ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器

ENTEGRISWGMXMBRR2

EntegrisWG2FT1RR2過濾器

EntegrisWG2FT1RR2過濾器

entegrisWGFGT1PR1過濾器

EntegrisYY5032PS1

EntegrisWGFG21KP0

ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器

ENTEGRISWGPMOGGT2

ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器

EntegrisWG2FT1RR2過濾器

ENTEGRISWGPMOGGT2美國ENTEGRIS應特格過濾器

ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器

ENTEGRISWGFG01DS0過濾器美國ENTEGRIS應特格過濾器

ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器

ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器

ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器

ENTEGRISLGMXFPRR4過濾器

ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器

ENTEGRISLGMXFPRR4過濾器

ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器