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nSpec LS 晶圓缺陷檢測光學系統

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地上海
  • 更新時間2022-08-16
  • 廠商性質其他
  • 所在地區上海
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  • 產品數量100
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本產品主要是用于檢測晶圓表面的缺陷
nSpec LS 晶圓缺陷檢測光學系統 產品詳情
本產品主要是用于檢測晶圓表面的缺陷。是一套實用的晶圓缺陷檢測光學系統。無論用戶對樣品檢驗有什么具體要求,我們都能提供廣范的解決方案來獲得快速的結果。
nSpec LS是研發和過程開發的理想系統。它按順序運行多個掃描。友好的用戶界面軟件使配置配方變得毫不費力。而且,隨著需求的發展,配方保存和修改也是非常方便的。
1. 半自動晶圓缺陷檢測功能
·基板,外延和圖案化晶圓
·透明和不透明的材料
·在膠片膠帶,托盤,凝膠包裝或蛋餅形包裝上模切
·光罩
·樣品碎片
2. 系統
·多種分辨率設置,范圍從0.25 µm及更高
·快速掃描
·可定制的缺陷報告
·各種樣品夾頭可滿足特定需求
·對缺陷或感興趣的特征進行檢測和分類的魯棒分析
·檢查和審查程序
·多系統同步
·占地面積小,設施要求zui少
·機架安裝控件
3. 系統參數
重量:318 kg
外觀尺寸(W x D x H):53 cm x 133 cm x 176 cm
zui小氣壓:24 in. Hg (70 kPa)
電源:110v/220v, 3.5 amps
光學器件:
照明模式:Brightfield, Darkfield, DIC (Nomarski)
光源:白光LED(也可選其他)
物鏡倍率:2.5, 5, 10, 20, 或50x,用戶可選
工作臺:
典型行程:200 mm,X和Y方向
定位:帶有閉環編碼器的線性伺服電機(分辨率為50 nm)
重復性:+/- 0.5 µm

行程平整度:30 µm

結構:精密地面滾道和交叉滾子軸承
支撐平臺:顯微鏡/重型底座集成到隔離臺中
中心負載能力:2.27 kg
重量:11.33 kg
尺寸(W x D x H):35 cm x 37 cm x 4 cm
備選功能:
AFM原子力顯微鏡:可根據要求提供規格
SECS/GEM
透射光
自動傳送晶圓片

如果您想了解關于這套型號為nSpec LS的晶圓缺陷檢測光學系統更多的信息,請聯系我們。

關鍵詞:顯微鏡
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