新一代數字化控制，五軸定位的磁懸浮分子泵 
MAG　1500C／CT，MAG2000C／CT，MAG2200C／CT，MAG　2800C／CT，MAG　3200C／CT 
抽速：1500l／s～3200l／s　 
●五軸定位雙端磁懸浮軸承系統，自平衡性能好全無油，耐粉塵、抗氣流沖擊。 
●轉子采用高強度鋁合金，一次高速銑削成形，應力小，強度高，耐沖擊，高溫變形量小，轉子葉片不易卷曲、打碎；轉子長期運行溫度可高達120℃。　 
●轉子及定片均采用萊寶磚利技術的　KAPLAR　涂層　 
●較鍍鎳的轉子具有更強的防腐蝕性能，適用于抽除腐蝕性強的工藝氣體；　 
●降低氣流與轉子葉片摩擦產生的熱量，降低轉子運行溫度，有利于延長轉子壽命； 
●葉片鍍　KAPLAR　的轉子較鍍鎳的轉子重量更輕。 
●保護軸承為陶瓷軸承，壽命長（＞600次），無需更換保護軸承。 
●高真空端連接采用ISO-F，連接螺栓強度高，充分保障安全。 
●智能化電源，無需UPS。　 
●帶拖動級，前級耐壓在2mbar以上。　 
●分子泵運行溫度可調節，使其充分適應不同工藝制程。　 
●**的數字控制技術 
●運行速度、溫度可設置；　 
●運行數據記錄存儲，提供多達180條運行信息；　 
●磁懸浮軸承及泵運行溫度采用數字化控制，信號處理速度快，系統反應時間短　 
●轉子受氣流沖擊或雜物不均勻沉積在葉片而使轉子動平衡變化時，磁場補償反應時間短；　 
●在氣流長時間（2分鐘以上）過大，而使泵負載過高，發熱量過大時，泵速會快速自動調節，使泵溫下降到正常水平。　 
●控制器與泵無識別性，可互換。　 
●免維護。 
 
典型應用： 
適用于　 
●所有半導體主要制程：刻蝕、化學氣相沉淀及離子注入　 
●科研領域　 
●鍍膜　 
另外，萊寶公司磁懸浮分子泵系統中還包括單軸定位的　TURBOVAC340M，MAG400和MAG　1000。

TURBOVAC (T) 350-450 i采用**的模塊化設計理念，可以根據對壓強和氣載量的要求來優化產品性能，*大限度地滿足客戶的需求。

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