SQM160是利用INFICON石英晶體傳感技術在鍍膜過程中測量沉積速率和膜厚的精密儀器，標準型有兩路傳感器輸入，同時，4路傳感器輸入可選，具體視用戶實際應用而定；雙輸出可以向操作者提供直觀的模擬沉積速率及膜厚信號。在大型系統中，傳感器輸入可以分配給不同材料，采集的數據通過平均值，以達到更**的沉積控制；也可以設定為雙探頭模式。在高沉積速率過程中，為了延長傳感器的使用壽命，速率采集模式允許探頭帶一個檔板。用戶可以自己選擇0.1?/s 還是0.01?/s的速率顯示模式.另外，還可以選擇頻率或質量顯示模式。SQM160的四路繼電輸出可以用來控制沉積源、探頭檔板、信號時間、膜厚設定值以及晶片失效信號等。 開啟速率和膜厚測量，只需先按住Zero鍵以**上次讀數，然后關閉，打開源和傳感器檔板。寬大明亮的LED顯示器可以同時顯示膜層厚度和沉積速率，即使操作人員離監測儀一定距離也仍然清晰可見。當達到預設膜厚或者鍍膜時間到了，檔板就會自動關閉，同時前面板報警器開始亮燈。在鍍膜過程中，操作員可以在任意時間通過Xtal Life鍵來查看晶片的剩余使用壽命。雙菜單可以對監測儀的99個存儲膜系進行設置。首先，選“program”鍵，進入菜單，然后，旋轉撥針鈕，這樣就可以選擇或者編輯參數了。主顯示界面顯示菜單提示，而設定的數據可以在輔助界面中找到。 標準型的頻率分辨率是0.12HZ@ 4個讀數/秒,如果用戶有更嚴格的需求可以選擇分辨率為0.03HZ@ 10個讀數/秒的高精型。SQM160另一大優點是在整個工作范圍內，溫度穩定性可以達到2ppm。高精度和高穩定性的聯袂使得該款儀器具備了**的性價比。 ■ 雙通道（標準型），四通道可選 QCM傳感器輸入 標準型: 2;路 可選: 4路 |
