Microsense(美國KLA子公司) 高精度電容式位移傳感器

  -----，中國區總代理

  一、 優勢簡介：

  Microsense的高精度電容式位移傳感器具有一般非接觸式儀器所共有的非接觸式特點外，還具有信噪比高，靈敏度高，零漂小，頻響寬，非線性小，精度穩定性好，抗電磁力強和使用操作方便等優點。在國內研究所，高等院校、工廠等部門得到廣泛應用，成為科研、教學和生產中一種*的測試儀器。

  二、 特點：

  1 近距離高精度非接觸式位置測量

  2 可達亞納米級直至皮納米級別分辨率，為世界上所有商用電容傳感器中噪音性能品牌

  3 可基于無論是高穩定性和線性還是測量帶寬而提供多種型號探頭“應用定制化”的優化方案。

  4 單一通道或多通道(3U歐洲卡機架安裝標準)可選

  三、 型號簡介：

  1 被動式高精度電容位移傳感器：代表型號：48XX 系列，88XX系列，Mini系列

  被動式電容傳感器為一種非接觸式精密位置傳感器?；谧非蟮木€性和穩定性而設計，其測量帶寬高達20千赫-專用于伺服系統位置反饋和快速機床伺服應用理念。

  2 主動式高精度電容位移傳感器：代表型號，58XX系列，68XX系列

  -----突破納米分辨率壁壘——實現亞納米分辨率與快速響應-高達100千赫帶寬!

  6810型高分辨率電容式傳感器提供了的位置和位移性能測量。6810是專為“高動態”測量高速旋轉或振蕩的物體，如精密硬盤驅動主軸電機、精密空氣軸承主軸和機械軸承

  機床主軸。

  主要應用與分辨率要求在1-2nm或更小的跳動測量( run out measurement)，如軸向和徑向NRRO不可重復運行或異步誤差運動(NRRO-non-repeatable run out or asychronous error motion)。

  四、 性能：

  1) 測量距離--± 5 um 到± 2 mm內非接觸式位移測量和尺寸測量的理想選擇

  2) 高測量帶寬(高頻率響應)可選-- 1 kHz, 5 kHz, 20 kHz and 100 kHz

  3) 適用于任何接地，導電的目標--材料或表面光潔度對精度沒有影響

  4) 高分辨率—可實現亞納米級分辨率，據傳感器探頭尺寸，帶寬，測量距離共同決定

  5) 5)線性度— 優于滿量程測量的0.025%， 據傳感器探頭尺寸，帶寬，測量距離共同決定

  五、 應用：

  1 定位功能 ：

  1)用于伺服反饋傳感器納米定位器

  2)快速機床私服系統定位

  2 距離和位移測量：

  1)尺寸測量和檢驗

  2)轉軸位移測量

  3 跳動測量：

  1)精密馬達和轉軸的跳動測量

  2)主軸計量與主軸跳動測量

  3)精密樣品臺的直線度和平面度測量

  4 厚度測量 ：

  1)磁性介質厚度測量

  2)藍光光盤模具厚度測量

  5 自動對焦和調零：

  半導體晶片表面檢測(聚焦平面控制)

  6 振動測量：

  1)精密工作臺振動測量

  2)傳動軸振動測量

  3)主動隔震系統伺服反饋系統