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ME-L全自動高精度穆勒矩陣型橢偏儀

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  • 更新時間2022-09-17
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沈陽科晶自動化設備有限公司是由畢業于美國麻省理工學院的江曉平博士于2000年5月創建。與合肥科晶材料技術有限公司、深圳市科晶智達科技有限公司同屬于科晶聯盟。自SYJ-150低速金剛石切割機誕生以來,沈陽科晶便開始了以趕超國外同行、材料分析設備潮流為目標的發展歷程。時至今日,已經擁有涵蓋材料切割、研磨、拋光、涂膜、鍍膜、混合、壓軋、燒結、分析等領域以及相關耗材的上百種產品,可以滿足晶體、陶瓷、玻璃、巖相、礦樣、金屬材料、耐火材料、復合材料、生物材料等制備分析的全套需要。  沈陽科晶立足國內市場實際情況,以提供實用的產品為己任。產品的質量、精度在向國外企業看齊的基礎上,產品的價格定位卻僅僅是其幾分之一。的性價比不僅吸引了眾多國內客戶,而且令挑剔的外國客商也稱贊不已,產品遠銷于印度、馬來西亞、土耳其、波蘭、突尼斯、澳大利亞等國家,并大量出口于美國。  沈陽科晶一直致力于高等院校、研究所、生產企業的科研服務,即產品定位于研究市場,主要面向廣大高等院校、科研機構、實驗室以及工廠的小規模生產。多年以來,已與全國眾多高校、研究院所建立了良好的合作、服務關系。其中北京大學、清華大學、浙江大學、哈爾濱工業大學、東北大學等高校,金屬研究所、上海硅酸鹽研究所、中國科學地質與地球物理研究所等科研機構,中國航天工業集團公司、中國船舶重工集團公司、攀鋼集團有限公司等企業都是長期合作的榮譽客戶。  沈陽科晶為了更好地服務客戶,專門設立了開放式專業實驗室,配備了優秀的專業技術人員。在這里,不僅可以提供親身的產品體驗環境,而且還可得到專業人員的操作指導。開設以來,制作的樣品達上千件,接待來訪客戶參觀百余次,其中包括多次外國友人的來訪。在此,沈陽科晶全體員工誠摯地歡迎您的到來,并希望您能提出寶貴的意見與建議。此外,沈陽科晶擁有優質、高效、專業的銷售咨詢、售后服務團隊,能夠為每一位客戶提供采購建議與方案、完善的使用指導與售后服務。使每一位客戶的需求得到滿足是沈陽科晶每個員工不懈努力的目標。  沈陽科晶一路走過的歷程,是為我國材料研究事業全力貢獻的歷程,是以實際行動將自己打造成國內材料分析設備品牌的歷程,是與國外同行不斷縮小差距的歷程,是與廣大客戶相扶相持的成長歷程。雖一路充滿坎坷與荊棘,但堅持不懈的沈陽科晶人仍全力以赴的前行。秉承這份堅持,相信在不久的將來,沈陽科晶也將會成為國際市場上專業的、杰出的材料分析設備品牌,沈陽科晶的明天會更加燦爛輝煌。
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ME-L全自動高精度穆勒矩陣型橢偏儀
ME-L全自動高精度穆勒矩陣型橢偏儀 產品詳情

產品簡介:ME-L是一款科研級全自動高精度穆勒矩陣型橢偏儀,凝聚了科研團隊在橢偏技術多年的投入,其采用行業前沿的創新技術,包括消色差補償器、雙旋轉補償器同步控制、穆勒矩陣數據分析等。可應用于半導體薄膜結構,半導體周期性納米結構,新材料,新物理現象研究,平板顯示,光伏太陽能,功能性涂料,生物和化學工程,塊狀材料分析以及各種各向同性/異性薄膜材料膜厚、光學納米光柵常數以及一維/二維納米光柵材料結構的表征分析。

雙旋轉補償器(DRC)配置一次測量全部穆勒矩陣16個元素;配置自動變角器、五維樣件控制平臺等優質硬件模塊,軟件交互式界面配合輔助向導式設計,易上手、操作便捷;豐富的數據庫和幾何結構模型庫,保證強大數據分析能力。

 

產品型號

ME-L全自動高精度穆勒矩陣型橢偏儀

主要特點

1、采用氘燈和鹵素燈復合光源,光譜覆蓋紫外到近紅外范圍 (193-2500nm)

2、可實現穆勒矩陣數據處理,測量信息量更大,測量速度快、數據更加精準

3、基于雙旋轉補償器配置,可一次測量獲得全部穆勒矩陣的16個元素,相對傳統光譜橢偏儀可獲取更加豐富全面的測量信息

4、頤光技術確保在寬光譜范圍內,提供優質穩定的各波段光譜

5、數百種材料數據庫、多種算法模型庫,涵蓋了目前絕大部分的光電材料

6、集成對納米光柵的分析,可同時測量分析納米結構周期、線寬、線高、側壁角、粗糙度等幾何形貌信息

技術參數

1、應用:科研級/企業級

2、基本功能:Psi/Delta、R/T、穆勒矩陣等光譜

3、分析光譜:380-1000nm(支持擴展至210-1650nm)

4、單次測量時間:1-8s

5、重復性測量精度:0.005nm

6、精度(直通測量空氣)

  橢偏參數:ψ=45±0.05°△=0±0.1°

  穆勒矩陣:對角元素m=1±0.005;非對角元素m=0±0.005

7、光斑大小:大光斑2-3mm;微光斑200μm

可選配置

波段選擇

V:380-1000nm

UV:245-1000nm

XN:210-1650nm

DN+:193-2500nm

角度選擇

自動:45-90°

手動:55-75°(5°步進),90°

固定:65°

其他選擇

Mapping選擇:100×100mm(供參考,按需定制)

溫控臺:室溫一600C(供參考,按需定制)

可選配件

1

溫控臺

 

2

Mapping擴展模塊

 

3

真空泵

 

4

透射吸附組件

 

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