APC鐘擺閥的應用
高科技制程后段壓力控制和隔離閥
應用產業
>> SEMI - 半導體
>> FPD - 光電面板
>> CVD - 化學氣相沉積
>> Solar - 太陽能
APC鐘擺閥特點
集成整合壓力控制
精確的壓力控制
密實的隔離
反應時間快
友善簡易操作使用接口
APC鐘擺閥的規格
真空計電壓 : 24V DC or ±15V DC
備用電源 : Yes
真空計輸入
－ 真空計數量：2 pcs
－ 真空計數值: 線性 / 指數 t
－ 真空計輸出電壓：0-10V DC 線性壓力
－ 輸入電阻：Ri=21 k Ω
－ 分辨率：2.3 mV
－ 采樣時間：1ms
控制精度：真空計最大量程的 0.1%
仿真\通訊簡易控制
位置分辨率：8000 (step 0-75° rotation)
環境溫度: 70°C max(控制器可持續 -24HR)
APC 軟件功能
使用APC軟件可提供便利操作功能通過計算機控制
設置控制參數的調整: GAIN
壓力和位置控制模式
附表測試模式=> 1 cycle schedule
設置閥打開/關閉速度
記錄APC 硬件/軟件版本, 序列號和型號
記錄閥門循環和運行時間
設置公差范圍的壓力
循環壽命和壓力控制記錄
控制器參數上傳和下載
斷電保護功能
屏幕截圖
控制和執行單元 | ||
輸入電壓 | +24 VDC(±10%) | 連接器: POWER |
功率消耗 | 150W(controller + motor) | 連接器: POWER |
真空計電源輸出 | +24 VDC /+-15VDC， 500 mA | 連接器: SENSOR |
模擬輸入 | ||
真空計數量 | 獨立兩頻道 | 連接器: SENSOR |
輸入電壓 | 0-10V DC linear | 連接器: SENSOR |
分辨率 | 2.3 mV | 連接器: SENSOR |
輸入電阻 | Ri=21kΩ | 連接器: SENSOR |
模擬輸出 | ||
真空計數量 | 獨立兩頻道 | 連接器: INTERFACE |
輸出電壓 | 0-10V DC linear | 連接器: INTERFACE |
數字輸出/入 | ||
輸入 | 獨立兩頻道 | 連接器: INTERFACE |
輸出 | 獨立兩頻道 | 連接器: INTERFACE |
可接受工作溫度 | ||
閥門本體 | 120 ℃ | |
控制器 | 70 ℃ | |
控壓精度 | 0.1% of maximum sensor range | |
位置分辨率 | 8000 (step 0-90?rotation) | |
備用電源 | Yes | |
ISO 200 | ||
關閉時間 | <1.2sec | |
開啟時間 | <1.2sec | |
閥門最大扭拒 | 270kg-cm | |
ISO 250 | ||
關閉時間 | <1.2sec | |
開啟時間 | <1.2sec | |
閥門最大扭拒 | 880kg-cm | |
ISO 320 | ||
關閉時間 | <3.0sec | |
開啟時間 | <3.0sec | |
閥門最大扭拒 | 880kg-cm | |
規格數據 | ||||||
材質 | 本體 | A6061-T6 | ||||
閥板 | A6061-T6 | |||||
使用壽命 | 關閉/開啟壽命 | 200,000 cycles | ||||
壓力控制壽命 | 1,000,000 cycles | |||||
氦氣泄漏率(一大氣壓壓差) | 本體 | ＜1×10-9 mbar .l /sec | ||||
本體 | ＜1×10-5 mbar .l /sec | |||||
烘烤溫度 | 本體 | ≤ 120 ℃ | ||||
驅動器 | ≤ 70 ℃ | |||||
控制盒 | ≤ 70 ℃ | |||||
壓力范圍 | 鋁合金 | 1×10-8 mbar to 1.2 bar | ||||
鋁合金 ,超硬陽極處理 | 1×10-6 mbar to 1.2 bar | |||||
最大壓差 | 1.2 bar | |||||
開啟前壓差 | ≤ 5 mbar | |||||
壓縮空氣壓力 | 4 ~ 6 Kg/cm2 | |||||
開/關時間(秒) | ISO 200 | ISO 250 | ISO 320 | |||
1.2/1.2 | 1.2/1.2 | 2.0/2.0 | ||||
密封圈材質 | 閥板 | Viton O-ring | ||||
閥蓋 | Viton O-ring | |||||
重量 | ISO 200 | ISO 250 | ISO 320 | |||
22Kg | 31Kg | 51Kg | ||||
驅動器 | 步進馬達 | |||||
安裝位置 | 水平 / 垂直 | 水平 | ||||
選配 | A. 其他密封圈材質 | |||||
