產品應用
Htc真空矩形閥是采用了直連驅動技術的真空閥，外形尺寸小，設計緊湊，所有動件皆位于大氣側因而與真空側隔絕，可減少粉塵產生，并提升產品的使用壽命。另外還有無氣壓時的封合自鎖保護，封板快速拆裝設計易維修等優點。
設計原理/特征
l 低振動及低粉塵設計(Low vibration and Low particle)
l 利用凸輪機構與彈簧完成封板封合動作。
l 雙氣壓缸、單出力軸驅動。
l 驅動軸桿封合頂緊輔助裝置。
l 無氣壓時的封合自鎖保護裝置。
l 封板快速拆裝設計，方便O-ring維修更換。
l 100 萬周期壽命。
真空矩形閥分類
l 標準型矩形閘閥(Standard Rectangular Transfer valves)
l 標準型矩形門型閘閥(Rectangular doors)
l 大型矩形閘閥(Large rectangular transfer valves)
l 大型矩形門型閘閥(Large rectangular doors)
Body 材質
鋁合金或不銹鋼(Aluminum or Stainless)
Body 表面處理
電解拋光 or 鋁硬陽處理(Electrolytic polishing or Hard anodized Aluminum)
