產品用途：
本系列產品采用氣浮和伺服控制技術，結合本公司自主研發的QMS3D自動測量軟件，可實現高效、準確的大批量工件測量，適用于精密零部件的檢測和質量控制。在機械、電子、五金、塑膠等行業中都得到了廣泛的應用。
特點：
行程大，測量范圍更廣；
自主開發QMS3D軟件，可滿足客戶不同測量需求；
具有快速自動對焦、自動尋邊，強大的編程和自動測量功能；
采用亞像素細分技術，提高邊界分辨能力；
配置操縱手柄，亦可軟件程控；
SPC數據處理分析，大批量治具測量；
X、Y、Z軸伺服控制，定位精度高速度快，運行平穩；
程控恒流驅動式八區表面冷光光源，可適應復雜的工件測量；
花崗石直線度和玻璃平面度好，花崗石導軌無摩擦、不磨損；
可通過激光指示器尋找被測工件的具體位置，快速定位，方便快捷。
技術規格參數：
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參數/ 型號 | VMS-0810H | VMS-1012H | VMS-1215H | |
| 機 臺 結 構 | 玻璃臺尺寸(mm) | 1208 × 885 | 1408×1085 | 1708 × 1285 |
| X、Y軸運動行程(mm) | 800×1000 | 1000×1200 | 1200×1500 | |
| X、Y軸速度(mm/s) | 300 | |||
| Z軸運動行程(mm) | 200 | |||
| 外形尺寸(m) | 2.17×2.38×1.56 | 2.37×2.58×1.56 | 2.57×2.88×1.56 | |
| 整機重量(kg) | 3260 | 3750 | 4520 | |
| 光 學 系 統 | 光源 | 表面光源--LED表面環形光源 底光源--LED新型直線光源 | ||
| 光柵尺分辨力 | 0.5um | |||
| X、Y示值誤差 | (3＋L/200)um | |||
| 激光平面度測量 | 重復性3um(選配激光位移器時) | |||
