與傳統非接觸測量技術相比，測量速度快，對震動不敏感，真正的實現三維形貌納米級測量。模塊化的設計理念，可配置共焦顯微系統, 探針測量系統，傳感器直接更換，方便快捷，極大的滿足了不同的應用范圍。即可用于計量單位和材料科學研發實驗室，也廣泛應用在工業制造領域：汽車、航天、航空、表面涂層、醫療產品、微型電機系統、半導體等行業。

主要特點：
◆ 非接觸式測量原理，無損化檢測粗糙度，微觀形貌
◆ 的數字全息三維顯微技術，真正實現3D微觀形貌測量
◆ 創新的成像原理，從原理上保證了對外界振動不敏感，Z軸分辨率高
◆ 激光找正工件并自動定位，測量速度快
◆ 模塊化的設計概念，多種光學光路原理，直接更換傳感器，不需要調整，方便快捷
◆ 可非標定制相應的測量頭，滿足不同客戶的特殊工件測量要求
◆ 即可選用數字全息技術實現高精密表面測量，也可選用色譜共焦技術實現微觀輪廓測量或選用接觸式探針實 現內壁粗糙度測量
◆ 慣用了Trimos“智能用戶界面”的理念，測量過程全 自動，操作簡單
◆ 采用專業的3D形貌分析軟件，功能強大，即可實現2D輪廓測量，也可進行3D形貌分析
◆ 可進行編程批量檢測并自動生成分析報告
◆ 兼容2D標準，并已內置即將制定的3D標準

軟件特點：
TRIMOS NanoWare軟件，擁有國際的評價標準程序來實時更新國際標準測量符合以下標準：ISO (4287、4288、11562、1101、12085、13563等)，法國標準NF，制造標準CNOMO，ASME (B46.1) 和DIN標準；三維表面特征數據標準ISO 25178系列同樣有效。

TRIMOS® NanoWare LT特點：
用于二維輪廓粗糙度測量分析的基本模塊。操作簡便，包含用于表面檢查，分析形貌，粗糙度和波紋度測量的重要功能。
◆ 常用參數要求數據Ra、Rq、Rt、線性材料曲率
◆ 過濾方式、水平、放大
◆ 所有測量可復現三維形貌
TRIMOS® NanoWare STT：
◆ 3軸測量基本模塊. 包含分析輪廓的所有功能及 符合ISO 25178表面分析
◆ 3D基本參數(Sa, Sq, St, Smr, ...)
◆ 表面圖形仿真
◆ 距離, 高度及角度測量
◆ 成型, 拉平, 視圖等濾波器
◆ 最終結果管理
◆ 測量點管理/再采集
◆ 輪廓提取, 體積測量
TRIMOS® NanoWare PRO：
2D及3D表面特征評估完整版本。此模塊綜合了表面測量領域15年以來的經驗。
◆ 市場上高性能的軟件
◆ 表面圖層研究
◆ 3D形貌鑒定
◆ 表面及輪廓統計分析及研究

可選測頭：

應用示例：