四氟化碳是一種有機物(鹵代烴)，在常溫常壓下是一種無色氣體，這種廢氣如直接排放于大氣中不僅會造成嚴重的空氣污染，而且如果人類吸入高濃度的四氟化碳會出現呼吸困難、窒息、嘔吐等現象，那對于加工廠排放出來的含有四氟化碳的廢氣應該怎么處理?

　　目前在各種集成電路的離子刻蝕加工工藝(溶劑、潤滑劑、激光氣體、低溫制冷劑、絕緣材料、紅外檢波管的冷卻劑)中會排放出含四氟化碳的工業廢氣，除了四氟化碳還有三氟化氮、六氟化硫等酸性廢氣，也是來源于電子產品生產時芯片用的刻蝕劑、清洗劑等領域。

　　因不同的產品用到的含氟物質不同，自然排放出來的含氟物質是不一樣的，含四氟化碳工業廢氣處理設備可以采用熱催化氧化方法、直接吸收法、等離子體分解法、直接燃燒方法等處理工藝。

　　含四氟化碳廢氣處理方法之直接燃燒法：

　　直接燃燒指的是把廢氣中的有害物質當做燃料直接燒掉，在燃燒工藝進行時燃燒所放出的熱量可以補償散向環境中的熱量，起到熱量的二次利用，直接燃燒法適用于燃燒時熱值高的、濃度高的有機廢氣。

　　除了直接燃燒法以外，如想了解其他的廢氣處理方法可以直接到宏森環保進行相關的處理方案查詢.