三次元測量設備技術特點：
三軸均采用自潔式預載荷高精度空氣軸承組成的靜壓氣浮式導軌，軸承跨距大，抗角擺能力強，阻力小、無磨損、運動更平穩。
采用反射式金屬帶狀光柵計量系統，與大多數工件具有相近的熱膨脹系數，確保了良好的重復精度。
傳動系統采用國際高性能直流伺服電機、齒形帶傳動裝置，確保傳動更快捷、更精準、運動性能更佳。
Z軸采用氣缸平衡裝置，極大的提高了Z軸的定位精度及穩定性。
控制系統采用英國RENISHAW ucc系統，上下位機式的雙計算機系統，從而極大地提高系統的可靠性和抗干擾能力，降低了維護成本。
三次元測量設備測頭系統：
01、測頭：
RENISHAW PH10T自動雙旋轉分度測頭座
特 點：自動雙旋轉測頭座，可實現空間7.5°步距的任意角度旋轉；具有防碰撞保護功能，保護測座本身在受到外力時的自身損壞；配備有M8測頭接口，可提供不同的測頭之間的轉換。
技術參數：
分度機構：
繞A軸（水平軸） 范圍 0°～105°最小步距7.5°
繞B軸（鉛垂軸） 范圍±180° 最小步距7.5°
空 間 位 置 720個
最大輸出扭矩 0.45Nm
允許最大加長桿長度 300 mm
重量 645g
接口 M8螺紋
控制器 UCC
重復定位精度<0.5 μm 使用 TP2 和 PS1R 測針
RENISHAW TP20觸發測頭（含1個標準測力模塊）
技術參數： 感應方向 ±X ±Y ﹢Z
測針接口 M2
重量 22g
額定壽命 ＞106次
02、測針組（mm）:
訂貨號 | 型號 | 名稱 | 測球材料 | 長度 | 測球直徑 | 數量 |
A-5000-7805 | PS10R | 直測針 | 紅寶石 | 10 | 0.5 | 2 |
A-5000-7806 | PS9R | 直測針 | 紅寶石 | 10 | 1 | 1 |
A-5000-7807 | PS8R | 直測針 | 紅寶石 | 10 | 2 | 4 |
A-5000-7808 | PS23R | 直測針 | 紅寶石 | 20 | 1 | 2 |
A-5000-3603 | PS2R | 直測針 | 紅寶石 | 20 | 2 | 2 |
A-5000-4160 | PS16R | 直測針 | 紅寶石 | 20 | 3 | 1 |
A-5000-4161 | PS17R | 直測針 | 紅寶石 | 20 | 4 | 1 |
測針加長桿（mm）：
訂貨號 | 型號 | 材料 | 直徑 | 長度 | 數量（個） |
A-5004-7586 | SE5 | 不銹鋼桿 | 3 | 20 | 1 |
A-5004-7591 | SE6 | 不銹鋼桿 | 3 | 30 | 1 |
測頭加長桿(mm):
訂貨號 | 型號 | 名稱 | 測桿材料 | 長度 | 數量 |
A-1047-3485 | PEL2 | 加長桿 | 鋁 | 100 | 1 |
測針中心座（mm）：
訂貨號 | 型號 | 材料 | 中心尺寸 | 有效長度 | 數量（個） |
A-5000-3627 | SC2 | 不銹鋼桿 | 7 | 7.5 | 1 |
03、校準器：標準球Φ25及球座 1套
04、精度指標：
長度計量系統：英國進口RENISHAW精密光柵尺
RENISHAW讀數頭分辨率：0.5 um
示值誤差： E≤2.0＋3.3L/1000um
探測誤差： R≤2.0um
c、環境要求
溫度：20+2℃ 1℃/h 1℃/m 2℃/24h
濕度：40%-70%
電源：220V±10%, 50HZ-60HZ
氣源：≥0.55Mpa
