| 水質級別 | 一級超純水 | EDI二級純水 |
| 產水速度5 | 120L/h | 10L/h |
| 純水分配速度3 | 2L/h | 3L/h |
| 定量取水 | 2L/h流速,100mL,1L,5L步進,范圍0.1-60L | - |
| 定量取水精確度4 | 0.25-60L范圍內3% | - |
| 產水電導率 | 0.055μs/cm(25℃) | 0.2-0.07μs/cm(25℃)(典型)4 |
| 產水電阻率 | 18.2MΩ·cm(25℃) | 5-15MΩ·cm(25℃)(典型)4 |
| TOC含量（帶紫外燈） | <2ppb2 | <30ppb6 |
| TOC含量（不帶紫外燈） | <5ppb2 | <30ppb6 |
| 微生物含量1 | <1CFU/1000ml | <1CFU/1000ml |
| 顆粒物含量1 | <1/ mL | <1/ mL |
| 顆粒物和微生物去除率 | - | 99% |
進水要求
符合美國、歐盟、日本法規要求的飲用水
| 進水壓力 | 2-6.9bar |
| 溫度 | 2-30℃ |
| 電導率 | <1500μs/cm(25℃) |
| TOC | <1000ppb |
| 總硬度（max.CaCO3） | 360 ppm |
| 游離氯 | 4 ppm |
| 鐵（總Fe含量） | <0.1ppm |
| 錳 | <0.05ppm |
| 鋁 | <0.05ppm |
| 溶解的CO2 | 40ppm |
| 污染指數（SDI） | <5 |
| 濁度 | <1 NTU |
| pH值 | 4-10 |
