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  • HORIBA SEC-Z500X系列 質量流量控制器 SEC-Z512MGX SEC-Z522MGXN SEC-Z514MGX SEC-Z524MGXN

HORIBA SEC-Z500X系列 質量流量控制器 SEC-Z512MGX SEC-Z522MGXN SEC-Z514MGX SEC-Z524MGXN

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2025-02-21
  • 廠商性質生產廠家
  • 所在地區上海市
  • 實名認證已認證
  • 產品數量503
  • 人氣值922
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上海亨東儀器有限公司在儀器領域擁有多年的研發和市場推廣經驗,并與一些院校和科研單位有著*良好的合作關系.

上海亨東儀器有限公司主要提供如下產品:

水質分析儀品牌及檢測項目

美國哈希HACH,德國WTW,意大利HANNA,德國LOVIBOND、德國賽多利斯、瑞士梅特勒。

PH計/酸度計、電導率測定儀、溶解氧測定儀、水質離子測定儀、濁度測定儀、水質硬度計、化學需氧量COD/生化需氧量BOD快速測定儀、余氯總氯比色儀、總氮總磷分析儀、非分散紅外測油儀/油分儀、農藥殘毒速測儀、土壤養分速測儀、紫外可見分光光度計、水質采樣器、負離子濃度測試儀、電子天平等。

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HORIBA SEC-Z500X 質量流量控制器多量程/多氣體數字質量流量控制器
HORIBA SEC-Z500X系列 質量流量控制器 SEC-Z512MGX SEC-Z522MGXN SEC-Z514MGX SEC-Z524MGXN 產品詳情



SEC-Z500X 質量流量控制器適用于各種應用以及半導體制造

  • 高精度 ±1.0% 設定點
    該質量流量控制器的線性度由多項式近似曲線補償,并實現在所有流量控制范圍內的高精度。為提高實際氣體精度,不同工藝氣體的標定數據由 HORIBA STEC 公司的標準氣體測量系統測量。
  • 高速響應
    裝配“可變 PID 系統”,可在任意兩個設定點之間實現 1 秒響應。可變 PID 根據流量點設置不斷變化。在滿量程流量和氣體發生變化時優化 PID 系數。
  • 多氣體/多量程解決方案
    配置軟件可以快速方便地更改規格。一個重要特征是無需從氣體控制面板或管道上拆除質量流量控制器,即可進行更改。減少了所需的備用質量流量控制器的數量,節省時間和成本。




SEC-Z500X 質量流量控制器適用于各種應用以及半導體制造

主要特性
1) 多種氣體及多種流量范圍, 可以自由地氣體類型及更改滿量程流量, 現場設定;
2) 超高精度:±1.0% S.P. (25-99% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.);
3) 快速響應:< 1秒 (全量程范圍內,任意設置點);
4) 非常方便的現場設置操作;
5) 多種氣體及多種流量范圍能力集成于一顆質量流量控制器,可以限度地減少庫存;
6) 與現有模擬式質量流量控制器兼容;
7) 模擬通信與數字通信(DeviceNet)可同時進行;

氣體接觸部件材料:SUS 316L不銹鋼(1sccm ~ 50slpm F.S. 類型);

SUS 316L不銹鋼,Viton(氟化橡膠-密封),PTFE(聚四氟乙烯),磁性不銹鋼(100 ~ 200slpm F.S. 類型)

滿量程流量

SEC-Z512KX

1/2sccm

SEC-Z512X

10sccm-10slpm

SEC-Z522X

22slpm-50slpm

SEC-Z532KVX

100slpm

SEC-Z542KVX

200slpm

技術參數

型號: SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM。

可選低成本數字型:SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。

可選低成本模擬型:SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3。

SEC-Z514MX、SEC-Z524MGM屬于SEC-500X系列,多種氣體及多種流量范圍數字式質量流量控制器





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