的質譜分析儀，壓強測試范圍從大氣到超高真空壓強，是在線監測和混合氣體分析的理想設備。無論檢測受限制的污染物，溶劑，氫化物，制冷劑或者是腐蝕性氣體，UGA都能勝任。UGA的應用包括半導體尾氣檢測，雜物箱分析，燃料電池的研究，氟利昂檢測，污染檢測，發酵研究和簡單真空分析。
UGA系統自帶windows軟件，實時采集數據和圖形化顯示，操作方便快捷。軟件功能中包含模擬的柱狀掃描模式、壓力和時間關系圖、檢漏測試、氣體分析和在線分析。標準的GPIB和RS232接口方便與計算機連接控制
UGAPM 系列過程監測系統是為分析過程氣體而設計的現代質譜儀。它們的工作范圍為 20 Torr 到 1 mTorr。入口以低流速（約
UGAPM 應用包括 CVD/PECVD/RIE/LPCVD/MOCVD、真空鍍膜/等離子蝕刻、蒸發、濺射沉積、真空熱處理、靶材老化、泄漏檢測/虛擬泄漏/解吸、污染研究、小體積分析（0.1 mL范圍）等。
這些分析儀也易于操作和維護。所有組件都可以從前面板或遠程計算機進行控制。在 UGAPM 系統中，使用 1/16” 或 1/8” OD 的 SS 毛細管來適應
工作原理
UGAPM 系統使用單級毛細管減壓入口，用于 1 mTorr 至 20 Torr 的樣氣。在壓力降低到大約
UGAPM Windows 軟件為復雜的繪圖和數據分析提供了一個圖形用戶界面。該軟件還允許遠程控制系統的閥門、加熱器和泵。
多毛細管入口
可選的多入口閥具有兩種可能的配置。一種是多通道配置，可適用于不同位置的一種特定樣品壓力。另一種是多量程配置，可適用于不同量程的樣品壓力。
使用您的 UGAPM
UGAPM 系統可以通過前面板或計算機進行控制。提供所有系統組件的手動或自動控制選擇。
使用 UGAPM 軟件測量和顯示數據。直觀的用戶界面允許快速輕松地進行測量。實時捕獲和顯示數據，或計劃在時間采集數據。
功能包括模擬和直方圖掃描模式、壓力與時間圖、泄漏檢測、氣體庫和
RGA 參數也可以通過高級 ASCII 命令等進行控制和監視。標準
最
UGAPM 分析儀提供目前可用的任何系統的價值。它們提供更高的性能、更好的功能，并且價格遠低于競爭對手。
UGAPM 規格 | |
進口 | |
| 類型 | 不銹鋼毛細管，兩個額外的 |
| 流量 | 在應用壓力下為10 -4至 |
| 壓力 | 可選擇 |
質譜儀 | |
| 類型 | 四極桿 (RGA) |
| 探測器 | 法拉第杯和電子倍增器 |
| 范圍 | 100、200 或 300 原子質量單位 (amu) |
| 解決 | 在 10 % 峰高處優于 0.5 amu |
| 檢測限 | <10 ppm 使用法拉第杯檢測器，<1 ppm 使用電子倍增器 |
| 運營壓力 | FC 為10 -4 mbar ，CDEM為 |
連接 | |
| 進樣口 | 1/16" 或 1/8" 世偉洛克接頭 |
| 排氣 | 1/4" Tygon 管適配器 |
| 計算機 | 以太網或 RS-232C，DB9 連接器 |
| 力量 | 3針接地線 |
UGA軟件 | |
| 軟件 | Windows 應用程序。控制 UGAPM 系統，包括 RGA。 |
系統 | |
| 泵 | 混合渦輪分子/阻力泵，81 升/秒。極限壓力 |
材料 | |
| 建造 | SS304 和 SS316 |
| 絕緣子 | 氧化鋁、陶瓷 |
| 密封件 | Viton ®、丁腈橡膠和丁腈橡膠、銅墊片 |
| 各種各樣的 | 鋁，Tygon ® |
一般的 | |
| 啟動時間 | 距句號 8 分鐘 |
| 限度。環境溫度。 | 35°C |
| 電力需求 | <600 W， |
| 方面 | 12" × 11" × 27" (WHL) |
| 重量 | 75 磅 |
| 保修單 | 一年零件和人工材料或工藝缺陷。泵密封件和隔膜的保修期為 90 天。 |
