主要特性與技術(shù)指標
廣泛的工作條件與精密測量功能相結(jié)合
- 適合功率器件表征的綜合解決方案，高達 1500 A 和 10 kV
- 中等電流測量和高電壓偏置（例如，500 mA，1200 V）
- μΩ 導通電阻測量功能
- 高電壓偏置時，可進行**的 sub-pA 電平電流測量
- 在 -50 ℃ 至 +250 ℃ 溫度范圍內(nèi)進行全自動熱測試
廣泛的器件測量功能
- 可在高達 3000 V 直流偏置時執(zhí)行全自動電容測量（Ciss、Coss、Crss 等）
- 10 μs 高功率脈沖測量
- 封裝器件和晶圓上 IGBT/FET 柵極電荷測量
- 高電壓/強電流快速切換選件，適用于 GaN 電流崩塌效應表征
- 多達 5 個高電壓（3 kV）電源/測量通道，提供*大的靈活性
- 通過互鎖測試夾具執(zhí)行安全的與溫度相關(guān)的測試
改進的測量效率
- 在高電壓和強電流測量之間自動切換，無需重新布線
- 自動測試電路形成，可用于封裝器件和晶圓上器件的晶體管結(jié)電容（Ciss、Coss、Crss、Cgs、Cgd、Cds 等）測量
- 具有互鎖機制的標準測試夾具，可進行封裝功率器件測試
- 支持高達 200 A 和 10 kV 的高功率晶圓上測試
- 示波器視圖支持對應用電壓和電流波形的驗證
- MS Windows EasyEXPERT 軟件簡化了數(shù)據(jù)管理和分析流程
可升級和可擴展的硬件體系結(jié)構(gòu)
- 廣泛的測量模塊選擇
- 支持具有高達 6 個連接引腳的高功率器件
描述
Keysight B1505A 功率器件分析儀/曲線追蹤儀是能夠?qū)?sub-pA 電平至 10 kV 和 1500 A 的高功率器件進行表征的綜合解決方案。這些功能能夠?qū)?新的器件（例如 IGBT）和材料（例如 GaN 和 SiC）進行測量。B1505A 支持各種模塊：高電壓 SMU（HVSMU）、強電流 SMU（HCSMU）、電流（UHC）模塊、超高電壓（UHV）模塊和高電壓中等電流（HVMC）模塊。B1505A 還支持：高功率 SMU（1 A/200 V）、中等功率 SMU（100 mA/100 V）、中等電流 SMU（1 A/30V 脈沖，100 mA/30V 直流）和多頻電容測量單元（1 kHz – 5 MHz）。B1505A 的 10 插槽模塊化主機支持您對其進行配置，以滿足您的測量需求。
它還可以在高電壓偏置（高達 3000 V）時執(zhí)行全自動電容測量，例如 Ciss、Coss 和 Crss，也可以輕松地測試高頻開關(guān)轉(zhuǎn)換器的另一個重要參數(shù)——柵極電荷。還支持在 -50 ℃ 至 +250 ℃ 溫度范圍內(nèi)進行自動熱表征。
B1505A 軟件環(huán)境以 Microsoft® Windows® 7 操作系統(tǒng)為基礎(chǔ)，包括曲線追蹤儀，支持用戶檢測器件特征和探測器件故障。如同使用曲線追蹤儀一樣，B1505A 提供旋鈕控制可變掃描功能，可對參數(shù)（例如擊穿電壓）進行實時測量。B1505A 還提供“示波器查看功能”，可直觀地幫助操作人員優(yōu)化應用于器件的電壓和電流。測量設(shè)置信息和數(shù)據(jù)可自動存儲到 B1505A 的內(nèi)置硬盤，并復制到 USB 閃存和其他便攜存儲器件。將器件測量結(jié)果匯總之后，測量數(shù)據(jù)可輕松復制到工程報告中。
強大的測試夾具解決方案對于確保操作人員安全（由于生成的高電壓和強電流）和支持各種功率器件封裝類型極為重要。以前的傳統(tǒng)曲線追蹤儀受功率器件大小的限制，無法對某些功率器件進行測試，而且有時為了測試某一器件必須臨時裝配適配器。然而不論器件的大小或形狀如何，B1505A 的測試夾具可連接各種器件，例如功率 MOSFET、二極管和 IGBT 等。這可以通過大型測試夾具適配器和定制的測試夾具模塊來實現(xiàn)。此外，測試夾具的內(nèi)置互鎖機制可確保在測試器件過程中安全地應用高電壓和強電流。
是德可提供一個轉(zhuǎn)換套件，使現(xiàn)有的 B1500A 用戶將其 B1500A 主機轉(zhuǎn)換為 B1505A 主機。這使當前的 B1500A 用戶能夠以較低的成本擴展現(xiàn)有儀器的電壓和電流測量功能。模塊選型指南
| 測量資源 | 所需模塊/擴展器 | 所需插槽數(shù) | *大配置 | 主要技術(shù)指標 |
| 高功率 SMU（HPSMU） | B1510A HPSMU | 2 | 4 | 高達 200 V、1 A，10 fA 電流分辨率 |
| 中等功率 SMU（MPSMU） | B1511B MPSMU | 1 | 10 | 高達 100 V、100 mA，10 fA 電流分辨率 |
| 強電流 SMU（HCSMU） | B1512A HCSMU | 2 | 2 | 20 A/20 V（脈沖）；1 A/40 V（直流）*1 |
| 高電壓 SMU（HVSMU） | B1513C HVSMU | 2 | 5 | 1500 V/8 mA；3000 V/4 mA（脈沖和直流） |
| 中等電流 SMU（MCSMU） | B1514A MCSMU | 1 | 6 | 1 A/30 V（脈沖）；100 mA/30 V（直流） |
| 多頻電容測量單元（MFCMU） | B1520A MFCMU | 1 | 1 | 1 kHz 至 5 MHz；0 至 ±25 V，使用 MFCMU 內(nèi)部直流偏置 0 至 ±3000 V，使用 HVSMU 和高電壓偏置 T 型接頭 |
| 高電壓中等電流單元（HVMCU） | M1266A HVSMU 電流擴展器、 B1513B HVSMU 和兩個 B1514A MCSMU/B1512A HCSMU | 4 - 6 | 1 | ±1500 V / 2.5 A（脈沖），±2200 V/ 1.1 A（脈沖） |
| 電流單元（UHCU） | N1265A 電流擴展器/夾具 和兩個 B1514A MCSMU/B1512A HCSMU | 2 - 4 | 1 | 1500 A/ 60 V（脈沖），22.5 kW 峰值功率、 ±500 A / 60 V（脈沖），7.5 kW 峰值功率 |
| 超高電壓單元（UHVU） | N1268A 超高電壓擴展器 和兩個 B1514A MCSMU 或 B1512A HCSMU 和 B1514A MCSMU 組合 | 2 - 3 | 1 | 10 kV/10 mA（直流），10 kV/ 20 mA（脈沖） |
*1. 使用兩個 HCSMU 和雙 HCSMU 組合適配器，當前的范圍可擴展至 40 A/20 V（脈沖）和 2 A/40 V（直流）。
