泰克Keithley 2650 系列高功率 SourceMeter® SMU 儀器
2650 系列大功率 SourceMeter SMU 儀器專為高電壓/電流電子產品和功率半導體元件（例如二極管、FET 和 IGBT、高亮度 LED、直流至直流轉換器、電池、太陽能電池及其他高功率材料、組件、模塊和部件）的檢定和測試而設計。 它們提供的功率、精度、速度、靈活性和易用性，可提高研發、生產測試和可靠性環境中的效率。 有兩種儀器可用，提供高達 3000V 或高達 2000W 的脈沖電流功率。
特點 | 優勢 |
| 高度靈活的四象限電壓和電流源/負載，與高精度電壓表和電流表相耦合 | 提供相比同類產品頗具優勢的性能，具有 6? 位分辨率。 |
| 源或阱 (2651A) 脈沖功率高達 2000W（±40V、±50A），或直流電源高達 200W（±10V@±20A、±20V@±10A、±40V@±5A）；輕松連接兩個器件（串聯或并聯）創建高達 ±100A 或 ±80V 的解決方案 | 支持功率半導體、HBLED、光學設備、太陽能電池、GaN、SiC 和其他復合材料與設備的檢定/測試。應用范圍包括半導體接點溫度檢定；高速、高精度數字化；電遷移研究；以及高電流、高功率設備測試。 |
| 源或阱 (2657A) 直流或脈沖功率高達 180W（±3000V@20mA、±1500V@120mA） | 提供功率半導體器件檢定和測試所需的高壓，包括 GaN、SiC 及其他復合材料和器件、高達 3kV 的故障和漏電測試以及亞毫秒瞬態檢定。 |
| 內置基于網絡瀏覽器的軟件 | 支持通過任何瀏覽器、任何計算機、從任何地方進行遠程控制。 |
| 有數字化或積分測量模式可供選擇 | 支持精確檢定瞬態和穩態行為，包括快速變化的熱效應。 |
| TSP（測試腳本處理）技術 | 可以與 2657A 型與 2600B 系列型號輕松地進行系統集成。 |
| TSP-Link 通道擴展總線 | 讓多臺 2651A 和 2657A 與所選 2600B 系列 SMU 儀器組合成多達 32 條通道的集成系統。 |
| 兼容于 8010 型高功率設備測試夾具和 8020 型高功率接口面板 | 為封裝部件或晶片級高功率設備測試提供安全而方便的連接。 |
| 免費的測試腳本構建器軟件工具 | 幫助您創建、修改、調試和存儲 TSP 測試腳本。 |
| 選配的 ACS 基礎半導體元器件檢定軟件 | 開發、質量檢驗或故障分析期間執行封裝部件檢定時，較大限度地提高工作效率。 |
大功率2651A 型數字源表進一步豐富了2600A 系列產品。該源表專門針對大功率電子器 件的特性分析和測試而優化設計，可幫助用戶在研發、可靠性及生產領域提高生產力，包 括高亮度LED、功率半導體、DC/DC 轉換器、電池，以及其他大功率材料、元件、模塊 和組件的特性分析和測試。
與2600A 系列產品的每個成員一樣，2651A 具有高靈活性、四象限電壓和電流源/負載， 組合了精密電壓和電流表。該源表可作為：
? 半導體特征分析儀
? 電壓或電流波形發生器
? 電壓或電流脈沖發生器
? 精密電源
? 真電流源
? 數字多用表(直流電壓，直流電流，電阻和功率，分辨率達5?位)
? 精密電子負載
2651A 型可輸出或吸入高達±40V 和50A。
主要特性：
? 源或阱：
- 2,000W脈沖功率(±40V，±50A);
- 200W直流功率(±10V@±20A、±20V@±10A、±40V@±5A)
? 方便地連接兩個單元(串聯或并聯)形成±100A 或±80V 解決方案
? 1pA 分辨率，可精密測量極低的漏電流
? 1μs/點(1MHz)，連續18 位A/O 轉換器，精確的瞬態特性分析
? 1%至99%脈沖占空比，適用于脈寬調制(PWM)驅動型器件和特殊驅動類型期間的激勵
? 組合了精密電壓源、電流源、數字多用表、任意波形發生器、電壓或電流脈沖發生器及測量、電子負載及觸發控制器——多功能一體的儀器
? 包括TSP®Express 特性分析軟件、LabVIEW®驅動，以及吉時利的Test Script Builder(測試腳本編輯器)軟件開關環境。
典型應用：
? 功率半導體、HBLED 和光器件特性分析和測試
? GaN、SIC 及其他復合材料和
器件的特性分析
? 半導體結溫度特性分析
? 高速、高精度數字化
? 電遷移研究
? 大電流、大功率器件測試
兩種測量模式：數字化或積分
2651A 型有兩種測量模式可對瞬態和穩態行為進行精密地特性分析，包括快速變化的熱 效應。每種模式均由其獨立的模/數(A/D)轉換器定義。
在數字化測量模式下，連續進行1μs/點采樣，每秒可捕獲1,000,000 個讀數。其18 位 A/D 轉換器使用戶能夠精密測量瞬態特性。對于更準確的測量，可利用基于22 位A/D 轉 換器的積分測量模式。全部2600A 系列儀器均具有積分測量模式。
每種測量模式下使用兩個A/D 轉換器(一個 用于電流，另一個用于電壓)，可同時運行 用于準確源讀回，不會影響測試效率。
雙數字化A/D 轉換器以高達1μs/點速率進行連 續采樣，同時對電流和電壓波形進行特性分析。
高速脈沖
2651A 型能夠準確輸出和測量短至100μs 的脈沖，將測試期間的自熱效應影響降至 。更大的控制靈活性使用戶能夠在 100μs 至DC 范圍內編程脈寬，在1%至 99%范圍內編程占空比。單臺儀器可輸出 高達50A 電流脈沖，兩臺組合可輸出高達 100A 電流脈沖。
擴展能力
利用TSP-Link®，可將多臺2651A 和其 他2600A 系列儀器組合在一起，形成最 多64 路通道的更大集成系統。利用內置 500ns 觸發控制器，確保精密定時和嚴 格通道同步。源表儀器的隔離、獨 立通道確保了真正的SMU-per-pin 測試。
吉時利的TSP 和TSP-Link 技術確保實現真 正的SMU-per-pin 測試，不存在基于主機系 統的功率和/或通道限制。
此外，兩臺2651A 型采用TSP-Link 并 聯時，電流量程從50A 擴展至100A。 當兩個單元串聯時，電壓范圍從40V 擴 展至80V。內置智能特性使多個單元可 作為單臺儀器進行尋址，簡化了測試， 由此形成業內的動態范圍(100A 至 1pA)。這種能力確保用戶可測試各種各 樣的功率半導體和其他器件。
高達50A (2 個單元可達100A)的精密測量確 保更完善和準確的特性分析。
1μV 測量分辨率和高達50A (2 個單元可達 100A)的電流源輸出確保低電平Rds 測量，支 持新一代器件。
2600A 系列儀器的標準能力
每款2651A 均具備其他2600A 系列儀器 提供的全部特性和能力，包括：
? 既可作為臺式I-V 特性分析工具，又可 作為多通道I-V 測試系統的組成部分。
? 無需編程或安裝，TSP Express 軟件 即可快速、簡便地執行常見的I-V 測試。
? ACS 基本版軟件，用于半導體元器件 特性分析(選件)。ACS 基本版軟件現 在具備一種Trace 模式，用于產生一 套特性曲線。
? 吉時利的TSP®(測試腳本處理器)軟件， 能夠創建用戶自定義測試腳本，實現 自動化程度更高的測試，并且支持創 建編程序列，使儀器在沒有PC 直接控 制的情況下異步工作。
? 多臺2600A 系列儀器連接在一個系統 中，實現并行測試和精密定時。
? 符合LXI class C 標準。
? 14 位I/O 線，與探針臺、元件裝卸裝 置或其他自動化工具直接交互。
? USB 端口，利用USB 存儲裝置實現更 大的數據和程序存儲空間。
簡明技術指標
電壓準確度
| 源 | 測量 | ||||
量程 | 編程分辨率 | 準確度±(% 讀數電流) | 顯示分辨率 | 積分ADC 準確度±(% 讀數+電壓) | 高速ADC 準確度±(% 讀數+電壓) |
100.000 mV | 5 μV | 0.02% + 500 μV | 1 μV | 0.015% + 300 μV | 0.015% + 600 μV |
1.00000 V | 50 μV | 0.02% + 500 μV | 10 μV | 0.015% + 300 μV | 0.015% + 600 μV |
10.0000 V | 500 μV | 0.02% + 5 mV | 100 μV | 0.015% + 3 mV | 0.015% + 8 mV |
20.0000 V | 500 μV | 0.02% + 5 mV | 100 μV | 0.015% + 3 mV | 0.015% + 8 mV |
40.0000 V | 500 μV | 0.02% + 12 mV | 100 μV | 0.015% + 8 mV | 0.015% + 15 mV |
其他源技術指標
噪聲(10Hz–20MHz)：<100mv 峰-峰值(典型=""><30mv rms="">
過沖：電壓：<±(0.1% +="">
電流：<>
遠端檢測工作范圍：
HI 和SENSE HI 之間的電壓 = 3V。
LO 和SENSE LO 之間的電壓 = 3V。
電壓源輸出建立時間：<50μs>
電流源輸出建立時間：<80μs>
每路源引線的阻抗：阻抗受限于遠端
檢測工作范圍的3V 壓降。
電阻 = 3V/源電流值(A)。
3V = L di/dt。
其他測量技術指標
負載阻抗：
常規模式：10nF(典型值)，3μH(典型值)。
大電容模式：50μF(典型值)，3μH(典型值)。
測量輸入阻抗：>10GΩ。
共模電壓：250 VDC。
接觸檢查：內置。
功率技術指標
輸出功率和源/阱限值：
| 電壓 | 電流 |
| 202 W， | 202 W， |
| ±10.1 V @ ±20.0 A | ± 5.05 A @ ± 40 V |
| ±20.2 V @ ±10.0 A | ± 10.1 A @ ± 20 V |
| ±40.4 V @ ± 5.0 A | ± 20.2 A @ ± 10 V |
| 四象限輸出或吸入操作。 | 四象限輸出或吸入操作。 |
電流和電壓量程擴展：兩臺2651A 可通過串聯或并聯擴展某些應用下的工作量程和功率性能。請參見網站.cn 的應用指南。
>
有源負載操作：注意：當2651A 配合另一臺系統源表儀器或其他任何有源負載工作時，需要將2651A 的輸出關閉 模式設置為“OUTPUT_ACTIVE_LOAD”。更多詳細信息請參考2651A 的參考手冊。
脈沖技術指標
最小可編程脈寬：100μs。 脈寬編程分辨率：1μs。 從脈沖起點至關閉時間起點測得：
最小脈沖上升時間：
| 電流量程 | 負載電阻 | 上升時間(典型值) |
| 50 A | 0.05 Ω | 25 μs |
| 50 A | 0.2 Ω | 57 μs |
| 50 A | 0.4 Ω | 85 μs |
| 20 A | 0.5 Ω | 90 μs |
| 50 A | 0.8 Ω | 120 μs |
| 20 A | 1 Ω | 180 μs |
| 10 A | 2 Ω | 330 μs |
| 5 A | 8 Ω | 400 μs |
占空比：1%–99%
測量速度技術指標
掃描速率(操作/秒)，60Hz (50Hz)：
| A/D 轉換器速 度 | (操作/秒)，6 | 0Hz (50Hz)： 用戶腳本測量至 存儲器 | 用戶腳本測量至 | 用戶腳本源測量至 | 用戶腳本源測量 | 掃描 API 源測量 | 掃描 API 源測量 |
| 0.001 NPLC | 內部 | 20000 (20000) | 10000 (10000) | 7000 (7000) | 6200 (6200) | 12000 (12000) | 5900 (5900) |
| 0.001 NPLC | 數字 I/O | 8100 (8100) | 7100 (7100) | 5500 (5500) | 5100 (5100) | 11200 (11200) | 5700 (5700) |
| 0.1 NPLC | 內部 | 580 (480) | 560 (470) | 550 (465) | 550 (460) | 560 (470) | 545 (460) |
| 1.0 NPLC | 內部 | 59 (49) | 59 (49) | 59 (49) | 59 (49) | 59 (49) | 59 (49) |
HS ADC | 內部 | 38500 (38500) | 20000 (20000) | 10000 (10000) | 9500 (9500) | 14300 (14300) | 6300 (6300) |
單次測量速率(操作/秒)，60Hz (50Hz)：
A/D 轉換器速度 | 觸發源 | 測量至 GPIB | 源輸出測量至 | 源輸出測量合格/不合格 |
| 0.001 NPLC | 內部 | 1900 (1800) | 1400 (1400) | 1400 (1400) |
| 1.0 NPLC | 內部 | 58 (48) | 57 (48) | 57 (48) |
測量量程變化：143 μs
源量程變化：2.5 ms
源功能量程變化：1.0 ms
高速ADC 脈沖串測量速率：
| 脈沖串長度(讀數) | 讀數/s | 脈沖串/s |
100 | 1M | 400 |
500 | 1M | 80 |
1000 | 1M | 40 |
2500 | 1M | 16 |
| 5000 | 1M | 8 |
觸發和同步技術指標
觸發：觸發輸入至觸發輸出：0.5μs，典型值。
同步：單或多節點同步源變化：<>
編程
測試腳本編輯器(TSB)：集成開發環境，用于創建、運行和管理TSP 腳本。
TSP Express(嵌入式)：無需編程或安裝，即可快速、簡便地執行常見的IV 測試。
其他軟件接口：TSP Express(嵌入式)、Direct GPIB/VISA、Read/Write， 利用VB、VC/C++、VC#、LabVIEW、LabWindows/CVI 等讀/寫。
系統擴展
利用TSP-Link 擴展接口，使支持TSP 的儀器之間能夠進行觸發和通信。
通用技術指標
USB：USB 2.1 主機控制器，支持外部數據存儲。
接觸檢查：1ms 最小測量時間；5%基本準確度。
PC 接口：IEEE-488.1 和.2；LXI Class C Ethernet；RS-232。
數字I/O 接口：輸入/輸出引腳：14 位 I/O。5.25V。
電源：100 V 至250 VAC，50 Hz – 60 Hz(自動檢測)，550 VA
制冷：強制風冷。側面和頂部吸入，后背板排出。
EMC：符合歐盟EMC 指令。
安全：UL 認證，符合UL61010-1:2004 標準符合歐盟低電壓指令。
質保：1 年。
尺寸：89mm 高× 435mm 寬× 549mm 深(3.5 in × 17.1 in × 21.6 in)。臺式配置(含把 手和支腳)：104mm 高× 483mm 寬× 620mm 深(4.1 in × 19 in × 24.4 in)
重量：9.98kg (22 lbs).
環境：室內使用。
校準周期：1 年。
2657A是一種高電壓、高功率、低電流源測量單元（SMU），具有迄今為止的功率、 精度、速度、靈活性和易用性，能夠大大提高研發、生產測試和可靠性環境的測試效 率。2657A是專門針對高壓電子和功率半導體器件的特征分析與測試而設計的，例如 二極管、FET和IGBT，以及其它一些需要高電壓、快速響應和精確測量電壓和電流的元 件和材料。2657A是吉時利功率半導體特征分析和測試解決方案的2600A系列產品，具 有業界的功率和的低電流性能。這些用戶可配置的解決方案采用了業界大的參數式特征分析軟件平臺，能夠隨著用戶應用的發展進行升級。
2657A與其它2600A系列數字源表一樣，具有高度靈活的四象限電壓和電流源/負載， 并配置了精密電壓和電流計。它可以用作：
? 半導體特征分析儀
? 電壓或電流波形發生器
? 電壓或電流脈沖發生器
? 支持電壓和電流讀回的精密電源
? 真電流源
? 數字萬用表（DCV、DCI、歐姆 和六位半分辨率電源）
? 精密電子負載
2657A能夠提供或吸收高達3000V@20mA或1500V@120mA的電源
主要特性：
? 提供或吸收高達180W的直流或脈沖電 源（±3000V@20mA，±1500V@120mA）
? 1fA低電流分辨率
? 用于高精度和高速瞬態捕獲的雙22位 精度ADC和每點雙18位1μs數字轉換器
? 易于與其它2600A數字源表進行系統集 成的全TSP®兼容能力
? 單臺儀器內集成了精密電源、電流 源、DMM、任意波形發生器、電壓或電 流脈沖發生器、電子18位負載和觸發 控制器
? 內含TSP® Express特征分析軟 件、LabVIEW ®驅動和吉時利的Test Script Builder軟件開發環
典型應用：
? 功率半導體器件特征分析與測試
? GaN、SiC和其它一些復合材料與器件 的特征分析
? 高達3kV的擊穿與漏流測試
? 亞毫秒瞬態特征分析
兩種測量模式：數字式或積分式 利用2657A的兩種測量模式，可以對器件的瞬態和穩態特性進行精確的特征分析，包括快 速改變熱效應。每種模式是由其獨立的模數（A/D）轉換器決定的。
數字式測量模式能夠實現高達1μs的采樣速度。利用其雙18位數字轉換器能夠同時捕獲 電壓和電流瞬態。在積分式測量模式下，利用其雙22位積分式模數轉換器能夠實現更精 確的電壓與電流測量。每種測量模式都使用兩個A/D轉換器，一個用于電流，另一個用于 電壓，兩個轉換器同時工作可以實現精確的電源讀回，且不影響測試產能。
雙高速A/D轉換器能夠實現每點1μs的采樣速度，支持電壓和電流的全同時特征分析。
擴展功能
通過TSP-Link®技術，2657A能夠與其它2600A系列儀器連接在一起，構成更大的具有 32個節點的集成式系統。內置的500ns觸發控制器能夠確保精確定時與緊密通道同步功 能。利用隔離且獨立的數字源表通道可以進行真正的每pin腳SMU測試。
高功率器件測試夾具
8010高功率器件測試夾具能夠為高達3000V或100A下帶封裝的高功率器件的測試提供安全和 方便的連接。8010提供的連接支持一個高壓數字源表（2657A）、一個或兩個高電流數字源表 （2651A）、三個低功率數字源表（其它2600A系列或4200-SCS SMU）。利用這一功能，就可以 安全而準確地對雙端（二極管）、三端（晶體管）甚至四端或五端器件進行特征分析。8010具 有全互鎖功能最多可支持六臺數字源表。8010集成了保護電路，能夠保護低壓數字源表免受 2657A輸出高壓造成的器件故障。8010內含高電流（100A）和高電壓（3000V）測試測試接口。還 有可選的各種備用測試接口，包括TO-247、TO-220、軸心線，以及可以構建自定義接口的一個 空接口模塊。除了標準的香蕉跳線，8010還具有背板指示器和熱探針端口，可簡化系統集成。
2600A系列儀器的標準功能
2每臺2657A都具有其它2600A系列數字源 表所具有的特性和功能：
? 使用靈活，可用作臺式I-V特征 分析工具，也可以作為多通道I-V 測試系統的組成模塊；
? TSP Express軟件，無需編程或安 裝其它軟件即可快速而方便地執 行常用的I-V測試。
? 用于半導體元件特征分析的ACS Basic Edition軟件（可選）。ACS Basic Edition現在提供了“Trace” 模式，可產生一套特征曲線。
? 吉時利的Test Script Processor (TSP)技術支持創建并運行自定義 的用戶測試腳本，用于實現高速自 動化測試，以及創建使測試儀能夠 在沒有PC直接控制的情況下進行 異步操作的程序序列。
? 當系統中多臺2600A系列儀器 連接在一起時，具有并行測試 執行和精確定時功能。 ? 兼容LXI Class C。
? 14位數字I/O線，用于直接連接探針 臺、元件機械手或其它自動化工具。
? USB端口，用于通過USB存儲器保存額 外的數據和測試程序。
2657A主要技術指標1
| 源 | 測量 | ||||
| 量程 | 編程分辨率 | 精度 | 顯示分辨率 | 積分ADC精度2 ±(% rdg + V) | 高速ADC精度3 ±(% rdg + V) |
| 200 V | 5 mV | 0.03% + 50 mV | 100 μV | 0.025% + 50 mV | 0.05% + 100 mV |
| 500 V | 10 mV | 0.03% + 125 mV | 100 μV | 0.025% + 100 mV | 0.05% + 200 mV |
| 1500 V | 40 mV | 0.03% + 375 mV | 1 mV | 0.025% + 300 mV | 0.05% + 600 mV |
| 3000 V | 80 mV | 0.03% + 750 mV | 1 mV | 0.025% + 600 mV | 0.05% + 1.2 V |
電流精度指標4
| 源 | 測量 | ||||
| 量程 | 編程分辨率 | 精度 | 顯示分辨率 | 積分ADC精度2 ±(% rdg + A) | 高速ADC精度 3 ±(% rdg + A) |
| 1 nA | 30 fA | 0.1% + 2E–12 + VoE–15 | 1 fA | 0.1% + 6E–13 + VoE–15 | 0.2% + 6E–13 + VoE–15 |
| 10 nA | 300 fA | 0.1% + 5E–12 + VoE–15 | 10 fA | 0.1% + 5E–12 + VoE–15 | 0.2% + 5E–12 + VoE–15 |
| 100 nA | 3 pA | 0.1% + 6E–11 + VoE–13 | 100 fA | 0.1% + 6E–11 + VoE–13 | 0.2%+ 6E–11 + VoE–13 |
1 μA | 30 pA | 0.03% + 700 pA | 1 pA | 0.025% + 400 pA | 0.08% + 800 nA |
| 10 μA | 300 pA | 0.03% + 5 nA | 10 pA | 0.025% + 1.5 nA | 0.08% + 3 nA |
100 μA | 3 nA | 0.03% + 60 nA | 100 pA | 0.02 % + 25 nA | 0.05% + 50 nA |
| 1 mA | 30 nA | 0.03% + 300 nA | 1 nA | 0.02 % + 200 nA | 0.05%+ 400 nA |
| 2 mA | 60 nA | 0.03% + 1.2 μA | 1 nA | 0.02 % + 500 nA | 0.05% + 1 μA |
| 20 mA | 600 nA | 0.03% + 12 μA | 10 nA | 0.02 % + 5 μA | 0.05%+ 10 μA |
| 120 mA | 3 μA | 0.03% + 36 μA | 100 nA | 0.02 % + 24 μA | 0.05%+ 50 μA |
1.對于0°到18°C以及28°到50°C的溫度，精度下降 ±(0.15 × 精度指標) °C。
2. 對于NPLC設置<>
| NPLC 設置 | 200V和500V | 1500V和3000V | 100nA | 1μA到120mA |
| 0.1 | 0.01% | 0.01% | 0.01% | 0.01% |
| 0.01 | 0.08% | 0.07% | 0.1 % | 0.05% |
| 0.001 | 0.8 % | 0.6 % | 1 % | 0.5 % |
3.18位ADC。間隔1μs的1000個樣本均值。
4.對于0°到18°C以及28°到50°C的溫度，精度下降 ±(0.35 × 精度指標) °C
其它特性
典型電壓源噪聲：量程的0.005%。
典型電流源噪聲：量程的0.08%。
典型電壓源設置：<><>
典型電流源設置：<><>
相關指標如有改變恕不另行通知。
觸發與同步指標
觸發：TRIGGER IN到TRIGGER OUT：0.5µs，典型值。
同步：單節點或多節點同步源變化：<>
編程
TEST SCRIPT BUILDER: 用于編輯、運行和管理TSP腳本的集成式開發環境。
TSP EXPRESS （內嵌的）：無需編程或安裝其它軟件即可使用戶快速而方便地執行常見I-V測試的工具。
軟件接口：TSP EXPRESS（內嵌的）、DIRECT GPIB/VISA、支持VB的讀/寫、VC/C++、 VC#、LABVIEW、TESTPOINT、LABWINDOWS/CVI等。
系統擴展
支持TSP功能的儀器通過TSP-Link擴展接口可以相互觸發和通信。如下圖所示：
2657A能夠提供或吸收高達3000V@20mA或1500V@120mA的電源
一般性指標
USB：USB 2.1主控制器，支持外部數據存儲。
接觸檢查：± 50Ω
PC接口：IEEE-488.1和.2；LXI CLASS C以太網；RS-232。
數字I/O接口：輸入/輸出腳：14個漏極開路I/O位。5.25V。
電源：100V到250V交流，50HZ–60HZ（自動檢測），功率550VA。
冷卻：強迫風冷。側面和頂部吸氣，后部排氣。
EMC：符合歐盟EMC指令。
安全性：ETL列出（待確認）。符合歐盟低壓指令。
質保期：1年。
尺寸：高89mm × 寬435mm × 深549mm（3.5in × 17.1in × 21.6in）。測試臺配置（帶手柄和腿）：高104mm × 寬483mm × 深620mm（4.1in × 19in × 24.4in）。
重量：9.98KG（22lbs）。
使用環境：僅適合室內使用。
校準周期：一年。
泰克Keithley 2650 系列高功率 SourceMeter® SMU 儀器
