真空電阻式熱蒸發鍍膜機特點
電拋光不銹鋼腔室(D形盒)
帶手動快門的前門上的4''直徑觀察口
匹配雙級旋轉葉片泵的渦輪分子真空泵系統
帶沉積控制器的石英晶體厚度傳感器
帶數字顯示和讀數的全量程真空計
最多四個帶獨立百葉窗的電阻熱源
半自動控制系統
真空電阻式熱蒸發鍍膜機具有箱形或D形腔室,其數量與的源數量相同,標準真空系統是渦輪或低溫泵;也可使用帶有擴散泵的系統。
基板載物臺可將一個或多個樣品保持為平面或圓頂形狀,可旋轉也可不旋轉,簡單或傾斜角度,冷卻或加熱至800°C的水或液氮,適合在不破壞真空的情況下進行發射或更換掩模。真空電阻式熱蒸發鍍膜機還生產PLC或PC控制系統,可以帶有或不帶有lod鎖或手套箱。