Nordson DAGE 4800 采用*的晶圓測試技術,可用于測試200毫米至450毫米的晶圓。將成熟的技術與的Paragon自動化軟件相結合,可提供優秀的準確性、可重復性和結果穩定性。
的品質
◆ 良好的準確性和可重復性確保您對測試結果的質量充滿信心。
最終退后精度
◆ 剪切高度的控制(復位)對剪切應用中一致性的測試結果至關重要。Nordson DAGE的復位系統有助于設置和控制剪切高度,從而使復位精度達到+/- 0.25微米。
高級成像
◆ 一系列功能強大的攝像頭和光學系統優化加載工具對準、自動編程和測試分析。
垃圾清理站
◆ 快速高效地從推刀及夾爪中自動清除殘渣
的雙顯微鏡裝置
◆ 4800 焊接強度測試儀的*光學器件與顯微鏡的雙減振裝置和可調式視窗相結合,可提供優秀的圖像穩定性
小尺寸精準定位
◆ 的矢量微調控制,提供具有可編程的微動按鈕的小鍵盤操作,精確的步進移動,以確保最終的位置精度
自動化測試
◆ 自動化的測試程序可以配置使用直觀的晶圓映射模塊在選定的或隨機的模具上運行一組測試。協助用戶從加載到結果,包括:攝像頭對位、失效模式判定和圖形數據展示
*的全自動晶圓測試技術
◆ 用于高倍光學顯微鏡的雙臂裝置
◆ 可互換的測試模組包括獲得的多功能測試模組(MFC)和的高精度拔球測試模組
◆ 自動邊緣升降智能晶圓載盤和高精度XY工作平臺,具有亞微米級分辨率和可重復性
◆ 創建晶圓圖和導航圖
◆ 集成圖像采集和側面對位攝像頭
◆ 集成的殘渣清除工作站在測試期間自動清理推刀及夾爪上的殘渣
主要特性
◆ 晶圓從暗盒到焊接強度測試儀的半自動化處理
◆ 半自動化凸塊剪切力測試
◆ 測試的晶圓返回暗盒的半自動化轉移
◆ 晶圓定位和安全連鎖
◆ 自動進行暗盒掃描以檢查晶圓位置以及是否存在任何十字形開槽的晶圓
◆ 自動化的凸塊剪切力程序(不需要攝像系統)
◆ 由 240 毫米操縱桿控制的精確 XY 工作平臺
規格描述:
◆ 產品尺寸: 1075mm x 980mm x 855mm (ex PC)
◆ 重量: 170Kg
◆ 電源: 90 - 264V AC, 47 - 63 Hz,單相,通用
◆ 供氣: 最小4巴,外徑6mm /內徑4mm的塑料管
◆ 供真空: 最小67kPa,外徑6mm /內徑4mm的塑料管材
◆ 接口: USB, Gigabit Ethernet/千兆網口