控制器HM5000東京計裝TOKYOKEISO微型轉換器

控制器HM5000東京計裝TOKYOKEISO微型轉換器

熱式質量流量計TC-1000，TC-2000，微型轉換器TM-1400，TM3000，控制器HM1000，HM5000

產品介紹

TC-1000/2000是一種質量流量控制器，結合了氣體的熱式質量流量計和控制閥。一般用TC-1000，高壓用TC-2000。不受壓力和溫度變化影響的質量流量測量，可高精度控制各種氣體的流量。

特征

確保各種氣體的恒定流量

結合質量流量計實現兩種氣體的比例混合

各種半導體制造工藝

用于各種分析儀器

腐蝕性氣體管線的流量控制

用于新材料器件的研發

TM-1400是與TC-1000、TC-2000、TC-3000、EP-TC-1000/2000V系列質量流量控制器配套使用的專用轉換器。
配備質量流量控制器電源，瞬時流量刻度顯示，流量設定功能，外接/手動設定切換。
集成常規獨立功能，節省空間，簡化安裝工作。

特征

緊湊（DIN72方形）、輕量且節省空間

標配瞬時流量顯示、瞬時流量輸出、流量設定功能等過程管理和控制所需的功能。

所有配置參數都可以從前面板輕松設置

TM3000微型轉換器單元是與TF-900、TF-1000、TF-5000、TF-6000、(H-)EP-TF-5300系列質量流量計配套使用的專用轉換器。
DIN72方形外殼標配瞬時流量顯示/再輸出、積分值顯示、積分脈沖輸出、上下限2點報警輸出功能、RS-485通訊功能、檢測器驅動電源?？捎糜谡莆湛偭髁俊⒈O視異常流量等廣泛用途。

HM1000是一款氣體質量流量計。有兩種類型：低價型和通用型。

特征

流量范圍廣

支持最小 0 至 5 mL/min (nor) 和 0 至 20 L/min (nor) 的廣泛范圍

高精準度

±1.5% FS (通用型)

組合豐富，周邊設備齊全

提供電源裝置、數字指示器和設定裝置（僅使用控制器）。易于安裝和接線。

負擔得起的經濟價格

應用

一般工業用途

各種分析儀器

氣體恒流控制

氣體混合分流系統

HM5000是一款氣體質量流量計。有通用型和高性能型兩種，可根據用途和目的選擇。

特征

流量范圍廣

最小 0.5mL/min(nor) 和 0.400L/min(nor) 的廣泛范圍

高精準度

±1%FS（高性能型）

通過混合IC提高可靠性和小型化

功能可以通過選項升級

軟啟動功能（僅限常閉型）
輸出信號1.5VDC

應用

一般工業過程

各種化學分析

半導體制造工藝

氣體恒流量控制、混合控制

設備內置