
專用氣體輸送系統,提供氣體分配均勻性和靈活的氣體分配方法
不同工藝模式(RIE、下游等離子體等)的柔性電極配置
的射頻系統提供的工藝重復性和處理效率
全自動處理能力
圖形用戶界面支持配方編輯器、配方驅動流程并提供實時流程信息
臺式設計需要較小的占地面積


典型應用
表面活化
提高表面能量以提高材料粘合性:預壓模粘合;預焊線粘合
增強表面膠體流動性:預成型;預倒裝芯片下溢
表面粗糙度和蝕刻
降低表面應力,改善表面粘結性
灰化和表面清潔
Plasma等離子蝕刻(配備RIE配置)
電介質/III-IV材料
納米涂層(配備液體前體輸送裝置)
耐水納米涂層:印刷電路板表面處理
防腐納米涂層:科研,醫療植入物