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  • TSI QUAL-DEP資格污染標準

QUAL-DEP資格污染標準 TSI QUAL-DEP資格污染標準

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具體成交價以合同協議為準
  • 型號QUAL-DEP資格污染標準
  • 品牌
  • 所在地深圳市
  • 更新時間2023-05-11
  • 廠商性質經銷商
  • 所在地區深圳市
  • 實名認證已認證
  • 產品數量1051
  • 人氣值6959
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深圳市展業達鴻科技有限公司核心業務是滿足對質量、貨期和售后服務要求嚴格的行業用戶,為客戶提供測試設備及相關器材的供應服務。創業至今,與國內外儀器、儀表生產廠商進行穩固而廣泛的技術與銷售合作,真正幫助企業"提高采購效率,降低采購成本"。


我們的優勢


(1)專業的產品選型與測試解決方案服務
(2)原廠訂貨或主供國外貨源,保證質量;
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我們堅持“客戶是根,服務*;創新為本,隨需而變”的服務宗旨;我們堅持“市場指引銷售,技術提升銷售”的營銷理念;我們堅持“以誠感人、以質取人、以信待人”的經營方針;結合市場變化和客戶要求,致力于同客戶建立*的合作伙伴關系,為客戶提供“技術分析、產品選型、人員培訓和售后服務”等一體化的系統服務,以專業品質與誠信服務贏得行業認可和客戶青睞。


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QUAL-DEP資格污染標準產品介紹: 來自 TSI 分部 MSP 的 Qual-Dep資格污染標準是特定于工具的標準,可驗證性能、降低驗收風險并幫助匹配/對齊檢測系統。 合格缺陷檢測設備 使用 Qual-DepQualification Wafer and Reticle Contamination Standards 在半導體晶圓廠安裝期間驗證檢測工具的性能,以確認工具的性能符合規范,從而促進......
TSI QUAL-DEP資格污染標準 產品詳情

QUAL-DEP資格污染標準產品介紹:

 
來自 TSI 分部 MSP 的 Qual-Dep資格污染標準是特定于工具的標準,可驗證性能、降低驗收風險并幫助匹配/對齊檢測系統。
合格缺陷檢測設備
使用 Qual-DepQualification Wafer and Reticle Contamination Standards 在半導體晶圓廠安裝期間驗證檢測工具的性能,以確認工具的性能符合規范,從而促進客戶的快速驗收。這些針對晶圓和掩模版檢測工具的認證標準每位客戶使用,從而簡化了采購流程并提供批量定價。
 
制造電子設備
使用 Qual-DepQualification Wafer and Reticle Contamination Standards 定期檢查檢測工具的性能支持您的制造操作的統計過程控制 (SPC)。MSP 的粒子沉積一致性允許您使用多種污染標準來可靠地匹配單個晶圓廠內的檢測/計量工具之間以及多個晶圓廠之間的全局性能。
 

QUAL-DEP資格污染標準規格:

三層包裹單晶圓托運人Qual-Dep認證污染標準是根據客戶規范構建的,通常是在使用Dev-Dep™ 開發污染標準開發工具或流程之后。可用于 Dev-Dep™ 開發污染標準的相同可定制屬性也可用于在您選擇的基材上進行的每個沉積:
 
存款模式類型
存款規模和頭寸
顆粒材料
粒徑
粒子數
 
基材
可以在各種基材上進行沉積,包括晶片、光罩(光掩模)、薄膜和圓盤。客戶通常會提供他們選擇的掩模版,但 MSP 也提供光學光掩模坯。MSP 通常提供用于沉積的裸硅晶片,但也會處理客戶提供的具有薄膜、圖案或其他專有規格的晶片。
 
晶圓或光罩污染標準基礎項目
Qual-Dep認證污染標準(基礎項目)由晶圓或掩模版上的一個沉積物(采用三層包裝)和每個粒徑標準的完整文檔(沉積摘要、合格證書、校準證書)組成。
 
見證晶圓
為了驗證任何晶圓或掩模版沉積工藝(200 毫米或 300 毫米硅晶圓除外),MSP 首先使用相同的沉積配方在“見證晶圓”上沉積顆粒。Witness 晶圓(200 毫米或 300 毫米)使用靈敏度約為 35 納米的掃描表面檢測系統 (SSIS) (KLA Surfscan SP2) 進行檢測。每個 Witness Wafer 都帶有沉積摘要,其中包括 SSIS 檢查結果(僅報告)。可以將 Witness Wafer 運送給客戶(報告和運送),但需要支付額外費用。
 
對于小于 80 納米(PSL 光散射等效值)的顆粒,建議使用 300 毫米見證晶圓,因為 300 毫米晶圓通常在小尺寸時具有較低的背景計數,并且比 200 毫米晶圓提供更好的檢測信噪比。對于更大的顆粒尺寸,200 毫米的晶圓更具成本效益。
 
晶圓檢測
MSP 使用靈敏度約為 35 nm 的掃描表面檢測系統 (SSIS) (KLA Surfscan SP2) 檢測 200 毫米或 300 毫米裸硅見證晶片的顆粒。隨標線片污染標準一起提供的沉積摘要中提供了檢查結果,包括帶有粒度信息和每個沉積的近似計數的掃描圖像。
 

QUAL-DEP資格污染標準特點與優勢:

Qual-Dep資格污染標準為設備供應商和晶圓廠提供了其他標準所不具備的幾個主要優勢。
 
排他性
Qual-Dep資格污染標準作為具有專用部件號的商品出售,簡化了采購流程并確保從訂單到訂單的規格一致。
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