由于某些特殊材料存在菲涅爾反射和對光的強烈吸收，用吸收光譜來分析此類材料是很難實現的。在這種前提下，研究這類吸收材料最可行的方法就是衰減全反射（ATR）。光在光密介質和吸收介質界面，以大于全反射臨界角入射時，反射效率會因為倏逝波與被測材料表面等離子體相耦合而衰減。此反射效率依賴于入射角、偏振方向和被測材料的折射率。正確的選擇THz棱鏡參數（尤其是棱鏡角度）會獲得好的ATR光譜。
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