Quanta™ 250 FEG
真正的高分辨、多用途掃描電鏡
  研究各種各樣的材料，并進行結構和成份表征，是目前對掃描電鏡的主流應用要求。 FEI Quanta™ FEG系列靈活、通用，足以應對當今人們廣博的研究方向這一挑戰。“分析任何樣品，得到所有數據”，在Quanta FEG上可得到表面像和成份像，并可輔以多種附件來確定材料的性質和元素組成。
    當今人們利用掃描電鏡研究的材料早已超出單純的金屬和經導電處理過的樣品。 Quanta 50 FEG系列對任何樣品都可得到高質量的圖像和分析結果。無論是對現今的或是將來的應用領域， FEI的Quanta 50FEG系列都是一個的、靈活的解決方案。其特點是，具有高真空、低真空和ESEM環境真空三種真空模式，適合分析泛的樣品范圍，從傳統的金屬材料、斷口和拋光斷面，到不導電的軟物質。
    Quanta 50 FEG系列是基于前兩代成功的肖特基場發射環境掃描技術開發的第三代Quanta系列產品。這一系列產品用戶界面使用起來十分方便、靈活，有多種功能****程度地發揮其使用效率，并且允許采集所有需要的數據。它是電鏡專家設計來給電鏡專家使用的儀器，性能遠不止“簡便易用”。這些功能有：的圖像導航功能包括蒙太奇圖像導航、鼠標雙擊樣品臺移動、鼠標拖曳放大居中功能以及其它標準的特色技術； SmartSCAN™，一種智能掃描技術，能降低信號噪音，提供更好的數據；電子束減速模式，一個新的選項，將鎢燈絲掃描電鏡的低加速電壓性能提高到一個全新的水平；Nav-Cam™彩色圖像導航器及新開發的探測器也大大增加了其靈

主要優點
? 世界上****具有環境掃描技術的高分辨場發射掃描電鏡
? 在各種操作模式下分析導電和不導電樣品，得到二次電子像和背散射電子像
? ****程度降低樣品制備要求:低真空/環境真空技術使得不導電樣品和/或含水樣品不經導電處理即可直接成像和分析，樣品表面無電荷累積現象
? 的“穿過透鏡”的壓差真空系統，對導電和不導電樣品都可進行EDS/EBSD分析，不管是在高真空模式或在低真空模式。穩定的大束流(**** 200 nA)確保能譜及EBSD分析工作的快速、準確
? 電鏡可作為一個微觀實驗室。安裝特殊的原位樣品臺后，在從- 165 °C到1500 °C溫度范圍內，對多種樣品保持其原始狀態下進行動態原位分析
? 對導電樣品，可選用減速模式得到表面和成份信息
? 直觀、簡便易用的軟件，即使電鏡新手也能

典型應用:
納米表征
? 金屬及合金, 氧化/腐蝕, 斷口, 焊點, 拋光斷面, 磁性及超導材料
? 陶瓷, 復合材料, 塑料
? 薄膜/涂層地質樣品斷面, 礦物
? 軟物質: 聚合物, 藥品, 過濾膜, 凝膠, 生物組織, 木材
? 顆粒, 多孔材料, 纖維
原位過程分析
? 增濕/去濕
? 浸潤行為/接觸角分析
? 氧化/腐蝕
? 拉伸 (伴隨加熱或冷卻)
? 結晶/相變
納米原型制備
? 電子束曝光 (EBL)
? 電子束誘導沉積(EBID)
主要參數
電子光學
? 高分辨肖特基場發射電子槍
? 優化的高亮度、大束流鏡筒
? 45°錐度物鏡極靴，及“穿過透鏡”的壓差真空系統，加熱式
物鏡光闌
? 加速電壓: 200 V - 30 kV
? 束流: ****200 nA并連續可調
? 放大倍數: 14 x – 1,000,000 x (四幅圖像顯示)
分辨率
? 高真空
– 30 kV下0.8 nm (STEM)*
– 30 kV下1.0 nm (SE)
– 30 kV下2.5 nm (BSE)*
– 1 kV下3.0 nm (SE)
? 高真空下減速模式*
– 1 kV下3.0 nm (BSE)*
– 1 kV下2.3 nm (ICD)*
– 200 V下3.1 nm (ICD)*
? 低真空
– 30 kV下1.4 nm (SE)
– 30 kV下 2.5 nm (BSE)
– 3 kV下3.0 nm (SE)
? 環境真空 (ESEM)
– 30 kV下1.4 nm (SE)

檢測器
? E-T二次電子探頭
? 大視場低真空氣體二次電子探頭 (LFD)
? 氣體二次電子探頭 (GSED)
? 樣品室紅外CCD相機
? 高靈敏度、低電壓固體背散射探頭*
? 氣體背散射探頭*
? 四分固體背散射探頭*
? 閃爍體型背散射探頭/CLD*
? vCD (低電壓、高襯度探頭)*
? 鏡筒內探頭(ICD)，用于減速模式下二次電子檢測*
? 電子束流檢測器*
? 分析型氣體背散射探頭 (GAD)*
? STEM探頭*
? Nav-Cam™– 光學相機彩色成像，用于樣品導航*
? 陰極熒光探測器*
? 能譜*
? 波譜*
? EBSD*
真空系統
? 1個 250 l/s 渦輪分子泵, 2個機械泵
? 的“穿過透鏡”的壓差真空系統
? 電子束在氣體區域的行程： 10 mm或2 mm
? 可升級成無油機械泵
? 2個離子泵
? 樣品室真空度 (高真空模式) <>6e-4 Pa
? 樣品室真空度(低真空模式) <>10 to 130 Pa
? 樣品室真空度(環境真空模式) <>10 to 4000 Pa
? 典型換樣時間: 高真空模式≤ 150秒；低真空及環境真空模式≤ 270秒 (FEI標準測試程序)
樣品室
? 左右內徑284 mm
? 10 mm分析工作距離
? 8個探測器 / 附件接口
? EDS采集角: 35°
樣品臺
? X/Y = 50 mm
? Z = 50 mm (其中馬達驅動25 mm)
? 手動傾斜： - 15° to + 75°
? 連續旋轉360°
? 重復精度: 2 μm (X/Y方向)
?

樣品座
? 多樣品座
? 單樣品座
? 通用樣品座套件*
? 適用于硅片或其它特殊要求的樣品座*
圖像處理器
? ****6144 x 4096像素
? 圖像文件格式： TIFF(8,16 or 24 bit), BMP or JPEG
? 單窗口或四窗口圖像顯示
? 四活動窗口
? 實時或靜態按彩色或按灰度等級信號混合
? 256 幀平均或積分
? 數字動畫記錄 (.avi格式)
? 直方圖及圖像測量軟件
支持軟件
? SmartSCAN™ 智能掃描技術
? 蒙太奇圖像導航
? 軟件溫度控制
? FEI動畫生成工具
系統選項
? 減速模式
? 多功能控制板
? 支持計算機 (包括第二個24寸液晶顯示器)
? 軟件控制的Peltier冷臺
? 軟件控制的WetTSTEM™
? 軟件控制的1000 °C熱臺
? 軟件控制的1500 °C熱臺
? 游戲操縱桿
? 樣品電流探測
? 遠程控制
? 視頻打印機
? 樣品座套件
? 機械泵隔音罩
? 7針或52針電氣接口
? 靜電電子束束閘
? 波譜儀接口
? 更換成無油機械泵套件