| 設備名稱 | 真空感應熔煉爐（2020.12.3——升利實驗室審核） |
| 感應加熱電源 |
? 工作電壓：三相，380V AC 50/60HZ ? 輸入功率：20KW ? 空氣開關：需60A的空氣開關 ? 保護：自動水壓，超溫和超功率保護 ? 輸出頻率：30-80KHZ ? 循環比：80%
|
| 溫度控制器&熱電偶 | ? 工作電壓;208~240V AC,單相 ? 采用PID方式控溫，可設置30段升降溫程序 ? 設置有超溫&斷偶保護 ? 控溫精度：+/- 5 oC ? 采用C型熱偶（進口Ω熱電偶），探頭伸入到石墨坩堝內 ? 連續工作溫度: 1000oC~1700oC ? 升溫速率: ? 10oC/second (1000oC-1200oC) ? 1700℃(恒溫時間<10min） ? 1600℃(恒溫<1小時) |
| 真空法蘭、石英管和防護罩 |
? 不銹鋼法蘭上帶有高溫硅膠O型圈，在法蘭上安裝兩個閥門和真空計 ? 一端封閉的石英管：150mm(OD)*142mm(ID)*300mm(L) ? 在法蘭上連接KF25接頭和KF25的波紋管用于連接真空泵
|
| 循環水冷機 |
? 溫度范圍：5~30°C ? 水流量：16L/min ? 水箱：不銹鋼材質，容積為12L ? 注意：建議使用特定的冷卻液以獲得性能。在幾次加熱試驗后，等待幾分鐘冷卻屬于正?，F象。
|
| 真空泵 |
? 標配一個VRD-8的雙極旋片機械泵 ? 電壓：AC 208-240 50hz,單相 ? 功率：800W
|
| 產品尺寸 |
? 感應加熱爐：530mm*220mm*430mm ? 水冷機：590mm*380mm*760mm ? 移動鋼框爐架：700mm(L)*1000mm(W)*700mm(H) （用于放置感應加熱器和石英管）
|
| 凈重 | ? 60kg |
| 質保期 | ?一年保修，終身技術支持。 1.耗材部分如爐管，耐火材料，密封圈，石墨坩堝和感應圈等不包含在內。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。
|
| 注意事項 | · 為了保護石墨坩堝和C熱電偶，在整個實驗過程必須在流動惰性氣氛環境中進行。氣體流量應限制在< 200SCCM
· C型熱電偶是耗材，不在我們的保修范圍內
· 在連續的氣體流動狀態下，所有的氣路壓力都在0.02MPa以下。石英管內氣壓超過0.02MPa后，可能對爐膛造成不可逆轉的破壞
· 當出氣口關閉，爐腔內存在正壓狀態時，不要加熱爐子。在加熱過程中，必須使用壓力表來密切監測加熱腔體內情況，一旦燃燒室壓力超過0.02MPa，請立即打開放氣閥，以防止不可預見的損壞
· 熔化時間和溫度與材料、坩堝、耐火絕緣等有關。如果不知道感應加熱器是否能熔化您的樣品，請聯系我們的工程師咨詢
· 石英管內部氣壓必須<0.02MPa(相對氣壓）
· 所用氣瓶上必須安裝減壓閥（可在本公司購買）
|
| 應用 |
? 此設備可改為RTP（快速熱處理爐）和混合物理化學氣相沉積（HPCVD）系統，請點擊下面的圖片查看，如您有任何特殊需求可聯系我們
|
