探頭 | F400 | F1 | F1/90 | F10 | N400 | N1 | ||
測量原理 | 磁性 | 渦流 | ||||||
測量范圍 | 0-400um | 0-1250um | 0-10mm | 0-400um | 0-1250um | |||
測量精度 um | 一點校準 | ±(3%H+0.7) | ±(3%H+1) | ±(3%H+10) | ±(3%H+1) | ±(3%H+1.5) | ||
兩點校準 | ±(1%H+1) | ±(1%H+1) | ±(1%H+1) | ±(1%H+1) | ±(1%H+1.5) | |||
低限分辨率 | 0.1um | 0.1 | 1 | 0.1 | 0.1 | |||
最小曲率半徑(凸) | 1mm | 1.5 | 平直 | 10 | 1.5 | 3 | ||
最小面積直徑 | φ3mm | φ7 | φ40 | φ4 | φ5 | |||
基體臨界厚度 | 0.2mm | 0.5 | 2 | 0.3 | 0.3 | |||