產品簡介：

KJ-T1200-S5010LK1-L系列立式管式氣氛爐的設計能夠實現在真空或氣氛保護條件下對樣品快速升降溫，四面加熱，溫場更均勻，立式結構使得氣體排放更加順暢，爐體垂直安裝在可移動支架上有利于爐管取放溫度的均勻性，可以預抽真空并能通氫氣、氬氣、氮氣、氧氣、一氧化碳、氨分解氣等氣體，該爐具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節能等優點，特別適合薄膜生長、電極測試、氧化物晶體生長、快速退火等實驗需要！

適用范圍：

 立式管式氣氛爐主要應用于院校實驗室、工礦企業實驗室，應用于高、中、低溫CVD工藝，如碳納米管的研制，晶體硅基板鍍膜，金屬材料擴散焊接以及真空或氣氛下的熱處理等。

技術參數：

標準配件：

 1．實現電爐的升溫、保溫、降溫工藝過程全自動。
 2．工藝人員可以將幾段程序編制成1條控溫曲線，保存于觸摸屏內，帶密碼保護功能，可一次性編制多條曲線。
 3．具備斷電記憶功能，查詢已完成的工藝階段。
 4．現場操作人員需要調用某條溫控曲線時，直接輸入曲線序列號即可調用該條曲線，簡單方便，杜絕錯誤發生。
 5．具備多組歷史數據記錄功能。
 6．具備同時顯示多段溫度及時間功能。

 1．氣體從鋼瓶出來，經過減壓閥減壓，通過四氟管到供氣系統的入口，再經過質子流量計控制氣體流量，然后經過混氣罐，再進入爐子進氣口，氣體從出氣管出來，經過三通閥門，一端連接真空泵，一端連接出氣口。
 2．混氣罐上接有壓力表，壓力表顯數盤與質子流量計安裝在同一面板上。
 3．每一條氣體管路均有一個高壓截止閥，安全有保證。
 4．該氣路采用高精度氣體浮子流量計，氣路內部全采用四氟管，耐腐蝕性好。
 5．所有接頭采用卡套連接，氣密性好，耐壓高。 。

 該耐高溫真空泵采用內置風扇和大面積散熱的風冷設計，大幅度降低泵的表面溫升；采用耐高溫密封圈和進口耐高溫泵油，更加適合真空管式爐的高溫使用環境。采用進口原裝油封，確保整機長期運行時的可靠密封。泵體采用一體化設計，零部件少，重復性好，外形緊湊，便于保養和維修。此外還內置有齒輪泵和恒壓供油機構強制供油，即便在高吸氣壓強下也能穩定可靠地運行。自動防返油閥設計，有效的保護了你的真空系統在停機后免受泵油的污染；該產品還設計有兩檔氣鎮，可滿足不同工藝對蒸汽排出量的需求。