- 產品說明
- 超高純凈膜片式瓶閥是針對半導體行業共同研究開發的新產品。捷銳從英國引進該項技術，為中國半導體行業提供了一項全新的產品，目前市場的空白。
- 有手動和氣動兩種閥，二者基于同一母體設計。
- 適用于大多數特種氣體，包括各種濃度的氧氣和高腐蝕性氣體如氯氣和等。
- 在符合超高純標準的潔凈廠房內生產制造，最終的裝配和測試是在10級無塵室中進行。
- 針對有低泄漏率要求的高純氣體用戶設計。
- 每個閥門都采用氦氣質譜儀檢測泄漏率。
- 膜片直接作用于閥座關閉閥門，光滑過渡的膜片設計可以將氣體流道死角減至最小。
- 閥座的特殊支撐和緊固設計，可以將高壓負載下閥座的變形量和背壓條件下閥座的提升量減至最小。
- 膜片為一體式無焊接結構，有效隔離了氣體和機械運動部件，提高了使用壽命。
- 為防止脫落的顆粒物污染，在氣體流道中不存在任何滑動，旋轉或摩擦部件。
- 進氣口呈喇叭型，增強氣體流通，便于清潔和吹掃凈化。
- 進出口端形式適合所有已知的行業標準；閥門也同樣適用于市場上各種流體。
- 手輪可用金屬絲鎖定。
- 執行器能夠被鎖定在關閉位置，以防止運輸過程中的震動，導致泄漏。
- 手動和氣動兩種形式均適合用標準閥門保護管帽。
- 出口端采用帶鏈條的管帽密封和保護。
- 閥門裝置包含提高安全性能的二次密封。
- 母體帶有“π”標記表示通過歐盟的TPED認證
- 工作壓力：230bar (3300psi)
- 適用氣體：工業和特種氣體（包括有毒氣體和腐蝕氣體和氧氣）
- 孔徑：4mm
- CV值：0.3
- 工作溫度：-20至65°C
- 閥體泄漏率：1x10-9 mbar l/s (200bar He)
- 閥座泄漏率：小于1x10-8 mbar l/s (200bar He)
- 母體：316L VAR stainless steel，Hastelloy C22，Monel，Nickel
- 閥座：PTCFE, Kynar 740, Vespel SP21 or Zytel 103 (Nylon)
- 膜片：Elgiloy
閥門氣體流道內無任何潤滑。閥座選用氣體相容性最小的材料。有關材料選擇方面的問題請聯系我們。 - 常閉設計的氣動執行器通用于所有的鋼瓶閥。在驅動氣源供氣時閥門打開，在彈簧的作用下閥門關閉。旋轉閥套可以將閥門鎖定在關閉位置。
- 驅動壓力：5 to 8bar (70 to 120psi)
- 驅動介質：空氣或氮氣
- 進氣接口：1/8” NPT
- 結構材料：不銹鋼，鎳鋁青銅和高硬度陽極化鋁合金
特性
