高精度真空熱板WATTY常壓高精度熱板

高精度真空熱板WATTY常壓高精度熱板

高精度真空熱板，常壓高精度熱板，烘烤裝置，供氣裝置

產品介紹

高精度真空熱板

特點

面內溫度分布高精度控制

關于形狀、尺寸等請聯系我們。

支持高達 400°C（鋁板）

使用示例

潔凈室一體化生產（100級、1000級）

CVD、蝕刻、灰化設備的工藝氣體供應管線，排氣管線的設計和制造

各種管道材料和零件焊接的豐富后臺數據

焊接管道和特殊氣體的焊接

我們還可以制造管道。

使用注意事項

1. 安裝加熱器時，請擦去被加熱表面的油污、污垢等，安裝時應確保粘合面不會形成氣穴。

2. 加熱器溫度根據使用條件（工作溫度等）而變化，因此，如果加熱器表面溫度可能超過200°C，請在使用前控制加熱器表面溫度。

常壓高精度熱板

特點

與加熱器一體型相比，重量輕、功耗低

通過分體設計實現FPD G8尺寸的高精度分布

支持高達400℃

使用示例

1.抗蝕劑、彩色濾光片等的烘烤（FEOL）

2.探針臺（BEOL）等檢查設備

3.用于掩模玻璃加熱

烘烤裝置

特點

我們將根據應用提出單片式和多級式等建議。

從用于測試和研究的手動式到用于批量生產的具有自動傳送機構的裝置的

設計和制造

供氣裝置

特點

潔凈室一體化生產（100級、1000級）CVD、蝕刻和灰化設備的工藝氣體供應管線和排氣管線的設計和制造

豐富的后臺數據對應各種管道材料及零件的焊接

我們還生產焊管和特殊氣體用焊管。還可以實現交貨時間短和小批量生產。