型號描述
型號 8715 是一臺用于調節侵蝕性氣體質量流量的裝置，它需要一個與介質相分離的傳感器。在數字的電子調節設備中，會將傳感器提供的實際值與規定的額定值進行比較；存在調節偏差時，會通過一種 PI 調節算法對發送到比例閥上的調節參數進行修改。這樣一來，就可以將質量流量保持在一個確定的數值上，或使其遵循規定的曲線輪廓，而不會受到壓力波動或設備中其他變化的影響。 可針對兩種不同的氣體對型號 8715 進行校準，用戶可在兩者之間進行轉換。一個直動式比例閥作為調節元件，確保了高反應靈敏度和裝置良好的調節特性。通過數字方式與更高一級的設備進行通訊，這樣一來，就可以省去額外的 D/A 轉換。
1）采用毛細管技術的旁通儀器，適合額定流量范圍 5 mlN/min 至 15 lN/min
2）適合侵蝕性氣體
3）緊湊型版本和數字通訊
Type Description
The mass flow controller (MFC) type 8715 is especially suited for regulating the mass flow of aggressive gases, which need a sensor which is not in direct contact with the gas. The thermal capillary sensor reaches fast response times. A direct-acting proportional valve from Bürkert guarantees a high sensitivity. The integrated PI controller ensures outstanding control characteristics of the MFC. Type 8715 can optionally be calibrated for two different gases; the user can switch between these two gases. The communication with master devices is fully digital, therefore no further analog/digital conversions are needed.
1）Nominal flow ranges from 0.005 lN/min to 15 lN/min
2）High accuracy and repeatability
3）Applicable for aggressive gases
4）Digital communication via RS485
氣體質量流量控制器部分訂貨號如下：
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