美國貝克曼Anatel UP100超純水顆粒在線檢測儀包括充沛的光電系統、計數和通訊電路、一個的流速控制系統，所有的都集成在一起能滿足各種應用。例如在DI water制造廠內監控，整個系統的流速超過of 1.0 L/min，這樣結果就有非?？斓那逑?，恢復時間及精確的流速，甚至于動態的入口壓力.
美國貝克曼Anatel UP100超純水顆粒在線檢測儀是一個近似于的系統，特別易于安裝或集成到現在系統中。如FMS（facility monitoring system ）或 BMS（building management system）。也可以選擇作為一個獨立的測試儀器，還有許多可用的兼容配套軟件。
0.1和0.2μm的標準顆粒尺寸，可在0.1和5.0μm范圍內定制
的流量控制和動態的入口壓力調節具備極快的清潔和恢復時間
高流速保證了快速的清洗時間
優秀的流量調節，一體化設計保證了低維護量
激光能量診斷，顆粒計數軟件和的可追溯NIST標準4-20mA輸出
應用：
電子半導體制造超純水系統顆粒計數檢測
性能：
測量粒徑尺寸（μm）：0.1,0.2 系統流速>1L/min
樣品流速 10ml/min, 樣品壓力設置30-100psig
光源采用激光二極管
